中古 DISCO DFD 6361 #9256192 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9256192
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2012
Wafer saws, 8"-12"
Full auto module
Dual spindle
Touch screen display with GUI interface
(2) Spindles, 1.2 kW
Automatic wheel covers and sensors
Dual cameras for simultaneous Z1/Z2 kerf check plus Hi-Lo mag
Auto system condition monitor
UV Exposure unit
Non-contact set-up with auto covers
K&S Dual-stack cassette handler, 8"-12"
Atomizer wheel covers with exhaust for CMOS
Spinner automizer: 2nd Fluid nozzle
Hub mount, 2"
Inspection cassette for 12"
Conversion kit for 8"
BCR System
SECS/GEM Per micron specification
With integrated LCD monitor and keyboard
2012 vintage.
ディスコDFD 6361は、LCDなどの大型・小型基板のコスト効率の高い精密スクライビングおよびダイシング用に設計された高性能スクライビング/ダイシング装置です。このシステムには、精密な3軸スクライビングステージと3軸ダイシングステージが装備されており、基板の正確な位置決めと容易なアライメントを保証します。このユニットは、様々な基材上の超高精度ライン幅を生成することができる高度なスクライビングマスク層を備えています。さらに、スクライビングマスク層は、基板上のスクライビングラインの幅を調整するために使用される特別なマスク機能で設計されています。さらに、スクライビングマシンには、正確なラインエッジ制御のための特許出願中の設計が装備されています。この設計は、ラインパターンのリソグラフィーエッジのアンダーカットを減らし、歩留まりを改善するのに役立ちます。さらに、このツールは、スクライビングプロセスを最適化するためのマルチチャネル照明アセットを備えています。このマルチチャネル照明モデルは、基板上の均一で均一な照明を提供し、正確なスクライビング結果を保証するように設計されています。ダイシング側には高性能ダイヤモンドソーブレードが装備されており、最大1mmの厚さの基板を精密な切断ラインに正確にダイシングすることができます。ブレードは、複数のレイヤーにスクライブとサイコロを作成するように構成することもできます。このシステムには、特許取得済みのZ-Pressテクノロジーも含まれており、スループットを向上させ、ダイシングサイクル時間を短縮します。この技術は、ダイシングプロセスで最高の精度を維持しながら、工具の摩耗を最小限に抑えるためにも使用されます。最後に、このユニットにはユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。これにより、ユーザーは、異なるスクライビングとダイシングのプロセスを視覚化することにより、簡単にマシンを制御し、構成することができます。さらに、統合された安全機能により、ツールを使用する際の安全性が向上します。ディスコDFD6361スクライビング/ダイシングアセットは、LCDやその他の基板の精密スクライビングおよびダイシングに理想的なソリューションです。その高度な機能とユーザーフレンドリーなインターフェースは、メーカーと研究者の両方に最適なモデルです。
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