中古 DISCO DFD 6361 #9254587 を販売中
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販売された
ID: 9254587
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Dicing saw, 12"
Machine main breaker rating: 20A
Maximum load: 8A
Interrupt current: 14,000 A.I.C.
Spindle maximum revolution: 60,000 min^-1
Maximum AC power: 200 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 6.9 kVA
Air: 0.5MPa 378 L/min (ANR)
Clean air: 0.5MPa 265 L/min (ANR)
N2: 0.5MPa 35 L/min (ANR)
Cutting water: 0.2MPa 14 L / min
Cooling water: 0.2MPa 3 L / min
Power supply: 200-240 VAC ±10%, 50/60 Hz, 18 A, 3 Phase
2005 vintage.
ディスコDFD 6361は、高度な半導体スクライビングおよびダイシング装置です。レーザー技術を駆使したウェーハの量産用に設計されています。このシステムは、高出力レーザーを使用してウェーハに希望の形状と深さをスクライブし、続いてエアナイフを使用して大きな粒子を吹き飛ばします。特別なローラーダイシングソーは、ウェーハの小さな部分を分離するために、ウェーハに圧力をかけます。ディスコDFD6361ユニットは、ファインピッチ生産サイズ用の高精度切断のために設計されています。デュアルビームレーザーとローリング/回転カッティングヘッドを搭載し、高精度で再現性に優れています。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスも、ユーザビリティを最大化するために含まれています。また、シールドレスプロセスを備えており、有害なシステムにさらされることはありません。DFD 6361は高速切断速度を有し、最大2µmの精度でさまざまなマイクロ部品を製造することができます。このツールは、GaAs、 Si、 Sapphireなどのさまざまな基板とも互換性があります。さらに、この資産には独自のウェーハリフト機構とプログラム可能なパーツカセットコレクタがあり、安全で自動的なウェーハスタッキングとアンロードを保証します。DFD6361は、その精度、精度、効率のために半導体デバイスの生産の重要な要素です。それはユーザーフレンドリーであるように設計され、正確さ、速度およびスループットのための最高の産業標準を満たすために高度の性能を提供します。
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