中古 DISCO DFD 6360 #9227527 を販売中

ディスコDFD 6360は、高精度、高速組立加工および試験に使用されるスクライビング/ダイシング装置です。ディスコ株式会社精密システム事業部製で、シリコンウェーハとパッケージ基板の両方でエッチング、ダイシング、スクライビング操作が可能です。このユニットは、ダイハンドリングロボット、精密ダイスタッキング機構、および強力なダイスタッキング制御ソフトウェアを備えています。ディスコ・DFD6360は、高信頼性でモジュラー性に優れたダイハンドリングロボットを採用しています。ダウンタイムを最小限に抑え、動作中にウェーハが損傷しないように設計されています。ダイスタッキングメカニズムは、高精度で安全な移動を行うことができる二軸ロータリーとZ軸リニアプラットフォームで構成されています。ダイスタッキング制御ソフトウェアは、複数のロボットおよびダイハンドリング操作を並列に実行することができ、必要に応じて周波数と速度をチョッピングするなどの微調整パラメータが可能です。DFD 6360の主な利点は、複雑な部品の高精度、高速組立、粒子の汚染に対する保護、温度の均一性の最適化、およびプロセス中に発生する汚染と廃棄物を最小限に抑える完全に囲まれた構造などです。また、このマシンはコスト効率が高く信頼性が高く、環境への影響を最小限に抑えながら最適な性能を保証します。スケーラブルで汎用性の高いDFD6360は、幅広いコンポーネントに対応できます。ウェーハパッケージアセンブリ、eビーム処理、熱処理、パッド処理など、さまざまなアプリケーションに最適です。このツールは、1時間あたり最大450ダイの容量を持ち、その生産歩留まりは95％以上に達することができます。柔軟性、拡張性、高品質を備えたDISCO DFD 6360は、半導体業界における高精度で高速な組立作業に最適です。