中古 DISCO DFD 6360 #293606550 を販売中

ディスコDFD 6360スクライビング/ダイシング装置は、半導体チップなどの壊れやすい基板のダイシングおよびスクライビング用に設計された精密システムです。単位は回転式テーブル、レーザー源、レーザー光学、XY軸、焦点光学および自動化された整列の付属品から成っています。機械のテーブルは直径10インチのアルミニウム版であり、正確な位置決めのためにDCモーターおよび機械ブレーキが付いている球ねじドライブツールを利用します。ロータリーテーブルは、最大4つの基板を保持することができ、ステップインクリメントを使用して1度の増分でインデックス化することができます。回転テーブルの速度は0〜100rpmの間で正確に制御でき、ブレーキは20N （2kg）までの圧力で位置を保持するように設定することができます。この資産には、周波数2倍のNd： YAGレーザーを供給し、パルスあたりの35mJを生成することができます。レーザーは高精度の切断のための同期パルス発生器、光学ピックアップおよび注文の光学と統合されます。レーザー光学は調節可能な焦点レンズ（f=50mmおよび100mm）をレーザー点サイズ300umまでの9インチまで焦点距離のために含んでいます。XYステージは高精度で高速位置決めが可能で、統合された顕微鏡モデルを搭載しています。XYステージには直交駆動軸と位置エンコーダ付きDCモーターがあり、ステージの動きを正確に制御できます。XYステージの微小メトリック分解能は、X軸で4um、 Y軸で4umに等しく、切断時に高い精度を得ることができます。自動化されたアライメント装置は、アプリケーションに応じて集合単位として個別に調整または手動で操作することができます。アライメントシステムはレーザーとガイドプロジェクターで構成され、基板にフィデューシャルマークとターゲットを投影することができます。オートマチックアライメントユニットはレーザーとXYステージと連動し、カットの精度を確保します。全体的なDISCO DFD6360機は、高性能で信頼性の高いスクライビングおよびダイシングツールで、多くのユニークな機能を備えています。それはさまざまな基質のためのscribingおよびダイシングの適用の広い範囲にとって理想的です。アセットの精度は、高品質のメカニクス、レーザー光学、XY位置決め、および装置の精度と再現性を高める自動化されたアライメントモデルを使用することで保証されます。