中古 DISCO DFD 6350 #9218722 を販売中
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ID: 9218722
ヴィンテージ: 2002
Dicing saw
SYNCHRD NCPA0055 Spindle
About each axis check:
Contents Allowance Measure
Camera XY perpendicularity 3 µm / 100 mm or less Maximum 3 µm
Wave X-axis - Clear
Straight Y axis 3 µm / 310 mm or less Maximum 2 µm
Y Axis squareness 5 µm / 310 mm or less Maximum 4 µm
Y Axis deviation index 2 µm / 155 mm or less Maximum 2 µm
Set up repeatability 5 µm / Below 10 Maximum 3 µm
Z Axis repeatability 1 µm / Below 10 Maximum 1 µm
Spindle shake 3 µm Below Maximum 2 µm
Flange cross section Less than 2 µm Maximum 2 µm
Spindle rotation Rotational speed within ± 3% 100 RPM
X Axis flatness (Base) 4 µm and under Max 4 µm
X-Axis flatness (Table) 8 µm / 300mm and underMax 8 µm
Check each part functions:
Item Standard Measure
EM Operating status Stop power off Clear
Sensor shaft operating state Axis stop alarm Clear
Monitor status No screen cracks Clear
Table vacuum pressure Over - 60kpa 72
Flow meter operation V Position Clear
Spindle cooling unit 1 ℓ / min or more Clear
Carbon brush status 30 Ω or less 17.5
Item Standard Measure
PS5-1 DC 5 V ± 5% Clear
PS12-1 DC 12 V ± 5% Clear
PS12-2 DC 12 V ± 5% Clear
PS24-1 DC 24 V ± 5% Clear
PS24-2 DC 24 V ± 5% Clear
Item Standard Measure
CPU BAT1 DC 3.6V 3.56
VGA Screen status Clear
EM / SETUP BAT1 DC 3.6V 3.45
COMM I / F Operating condition Clear
2002 vintage.
ディスコDFD 6350は、さまざまな精密製造アプリケーションで使用される高精度スクライビング/ダイシング装置です。ディスコが設計したこの機械は、シリコン、サファイア、石英などの薄くて硬い基板を高精度に加工するために作られています。DFD 6350は3つの精密線形軸および1つの制御可能な回転式軸を特色にする高級な機械です。これらの軸はすべてダイレクトドライブリニアモータシステムによって駆動され、非常に一貫した精度を維持することができます。機械にまたプロセスの精密な制御のための位置制御装置があります。ディスコDFD 6350のスクライビング機能は、精度1ミクロン以内に正確な高精度のダイヤモンドチップブレードを使用しています。刃の位置は正確に制御されている間、刃は高速で運転されます。これにより、材料に非常に正確な設計を実装することができます。DFD 6350はまた、高速レーザダイシング技術を使用して小さな基板をダイシングするための統合されたマシンを持っています。このツールは、材料をスクライブするために高出力レーザーを使用して、最小限の残骸の生産で非常に正確なカットを作成します。レーザーは厚い5mmまで基質を切ることができ、0。1ミクロンの精密の内で正確です。ディスコDFD 6350には、基板チップの検出とカウントのための統合ビジョンアセットもあります。このモデルは0。5mm^2の小さい破片を検出でき、また大きい正確さに破片のサイズを測定できます。これにより、プロセスが最適に実行され、過剰な破片の蓄積を防ぐことができます。装置を完了するために、DFD 6350に基質のローディングおよびアンロードのための自動ローダー/アンローダーがあります。このシステムは、自動基板のローディングとアンロードを可能にし、効率を大幅に向上させます。全体として、ディスコDFD 6350は、精密部品の製造において2つの重要な機能を果たす高精度機械です。このユニットは、薄くて硬い基板上に設計を非常に正確に実装するだけでなく、小さな基板の高速かつ正確なダイシングが可能です。さらに、チップ検出とカウントのための統合ビジョンマシン、およびオートローダー/アンローダーは、プロセスが最適なペースと効率で実行されていることを確認します。DFD 6350は精密製造のための理想的な選択です。
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