中古 DISCO DFD 6340 #9280878 を販売中

ディスコDFD 6340は、スクライビング技術の精度とウェハダイシングの高いスループットを兼ね備えたスクライビング/ダイシング機器です。ディスコ・DFD6340は、半導体メーカーやマイクロエレクトロニクスデバイスメーカーに高い精度と生産性を提供します。システムの中核はサーボ制御のスクライビングスピンドルで、1秒間に5〜120ストロークの範囲で動作します。このスピンドルは、最大0。1ミクロンの精度で、スライドに沿ってスクライビングツールヘッドを移動します。自動セル整列機構によりツールヘッドの正しい動きが保証され、内蔵の衝突センサーはツールヘッドが何かと衝突したときにユニットをシャットダウンします。DFD 6340は高精細プラズマ切断機能も備えています。プラズマ切断ヘッドは、0。1ミクロンまでの精度を維持しながら、最大10,000度の温度に達することができます。機械のオートメーション制御は速く、容易な操作、また減少のセットアップおよび生産時間を保障します。また、エッジ検出や加工、ウェーハチルト、ウェーハボウ、溝の評価など、さまざまなインプロセス測定にも対応しています。これにより、プロセス制御が改善され、収率が高くなり、スクラップが減少します。このアセットには、生産における最高レベルの精度を保証する専用のノイズキャンセリングモデルも含まれています。装置のもう一つの特徴は、異なるサイズや形状の基板を扱う能力です。このシステムは、最大900mm × 1300mmの基板に対応し、石英、シリコンなどのさまざまな材料を処理することができます。DFD6340は、既存のさまざまな半導体生産環境に迅速に統合するために設計されています。ユニットは非常に迅速にセットアップすることができ、モーションコントローラとオプションのオンボードPCは、マシンを操作するために必要なスペースを削減するのに役立ちます。統合された空気清浄機は、ツールの排気から排出される空気が清潔で安全に使用できることを確認します。全体として、ディスコDFD 6340は強力で信頼性の高いスクライビング/ダイシング資産であり、半導体およびマイクロエレクトロニクスデバイスメーカーに高精度で高スループットソリューションを提供します。その高度な機能と統合された安全システムは、半導体メーカーにとって信頼性が高く、費用対効果が高く、安全な選択肢となります。