中古 ASM ALSI ICA1204 #9254251 を販売中
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ID: 9254251
ヴィンテージ: 2012
Laser dicing system
JDSU Q-Series UV Laser, 355 nm
Module: Coater / Cleaner
Tape frame size: DISCO Frame 261 (8.9" OD x 7.6" ID)
(2) Cassette stations and priority load port
Single wafer load port priority port
(2) Independent cassette stations:
12 Slots cassettes, 300 mm
24 Slots cassettes, 200 mm
Stroke x-axis: 380 mm
Stroke y-axis: 380 mm
Stroke z-axis: 3 mm
Max speed (X,Y): 500 mm/s
Accuracy:
Dynamic: 0,5 μm
Static: 0,1 μm
Laser cabinet size (W, D, H):
1500 x 2000 x 2200 mm
600 x 800 x 800 mm
Vacuum: - 0,85 bar, max 20 l/min
DI Water: 1 Bar, 2,5-10 l/hr, max 0,5 l/min
Water: 5 Bar, max 16-20°C, 20 l/min
Process exhaust: 0,85 ± 0,02 Bar filtering required (est 40 m³/hr)
Machine exhaust: 100-150 m³/hr
Ambient temp: 20°C - 25°C
Clean room: < 10.000
Power:
Nominal: 8 kVA to 12 kVA
Peak: 14 kVA to 18 kVA
Input voltage: 400/VAC
Connection type: 3 Phase delta + N + PE
Frequency: 48 - 60 Hz
Compressed air: 5 Bar, max 700 ln/min
2012 vintage.
ASM ALSI ICA1204は、ICの高スループット生産のために設計された完全に自動化されたスクライビング、ダイシング、ラッピング装置です。統合されたビジョンアルゴリズムと統合されたCADデータベースにより、このシステムは、サイコロの欠陥を検出する優れた能力を備え、市場で最も高いスクライビング解像度を提供します。ALSI ICA1204は完全自動化されたユニットで、ICの正確なスクライビングのためのパターン化とエッジ検出の最新の進歩を提供します。高速スクライビングマシンは、スクライビングまたはダイシング前にダイの欠陥を正確に検出するための統合ビジョンアルゴリズムを備えています。このツールには、ウェーハの複数の顕微鏡画像を撮影し、パターン精度を検証するためのビジョンカメラが装備されています。また、個々のICのパターンとデータを保存し、正確にスクライブしてサイコロにするための統合CADデータベースも含まれています。さらに、ASM ALSI ICA1204は高精度のレーザスクライビングを採用しており、市場で最高の解像度とパターニング精度を実現しています。このアセットはまた、スクライブとサイコロの後にICを迅速かつ正確に処理するための完全に自動化されたラッピング操作を備えています。一体化されたラッピング操作には、溝と研磨プロセスが組み込まれており、ICの優れたエッジと表面仕上げを提供します。このプロセスは、完成したICの高収率を確保するために不可欠です。さらに、ラッピング操作は、異なる生産ジョブサイズの要件を満たすように調整することができます。ALSI ICA1204は、ICの高スループット生産を実現するために設計された信頼性と効率の高いモデルです。完全に自動化された操作、ビジョンアルゴリズムとCADデータベースのシームレスな統合、高度なレーザスクライブとラッピングプロセスにより、ICの処理における最高レベルの精度と品質を実現します。この機器は、スクライブ、ダイシング、ラッピングのすべてのニーズに対応する、費用対効果の高い信頼性の高いソリューションです。
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