中古 ADT / K&S 7500 #9122581 を販売中

ADT/K&S 7500は、半導体加工に使用されるスクライビング/ダイシング装置です。さまざまな基板に直接書き込むことで、ウェーハをカット、マーク、スコア化するように設計されています。このシステムは、レーザービームを使用して、ウェーハ基板上のスクライブ線を正確に作成します。レーザー光線は、Nd： YAG（ネオジムドープされたイットリウムアルミニウムガーネット）レーザー光源によって生成され、様々なフィルター光学系やミラーを通過した後、材料にFシータレンズによって焦点を合わせます。レーザーに切口の定義された深さを提供し、正確な書記を作り出す発生の急な角度があります。ADT 7500はレーザー光線を極めて高精度制御し、高精度を実現しています。レーザースポットをスムーズかつ正確に移動するためのエアベアリングX軸を備えています。レーザービームは、表面に垂直なウェーハスポットに当たるように整列され、精度と再現性が向上します。それはまっすぐな書記官か非常に複雑なパターンを作ることができる。また、高速モーションサーボ駆動ステージを備えたエアベアリングY軸も備えています。レーザースポットの迅速かつ正確な移動を可能にし、最大8インチの直径のウェーハの切断を可能にします。アップ・ダウンだ。段階はウェーハの基質の連続的な印を可能にし、印プロセスをより自動化され、効率的にさせます。さらに、K&S 7500は、ウェーハのピックと場所のための別のステージを持っています。これは、直径4インチまたは6インチのウェーハに適したツーリングで行われます。また、レーザースポットをウェーハ上のfiducialマーカーに合わせてマーキングする統合ビジョンツールも備えています。7500を制御するソフトウェアは、変更することができるパラメータの広い範囲を提供することにより、スクライビング/ダイシングプロセスのカスタムプログラミングを可能にします。これらのパラメータには、レーザパワー、パルス周波数、パルスの多様性、および加速度の設定が含まれます。このソフトウェアには強力な後処理エンジンも組み込まれており、高精度のスクライビング/ダイシングの結果を可能にします。ADT/K&S 7500は、再現性と精度の高い正確なスクライビングとダイシングに最適なソリューションです。このアセットは、様々な基板上で非常に複雑な設計を行うことができ、高い再現性と信頼性を備えています。業界をリードする半導体アプリケーションに最適なモデルです。