中古 TOSHIBA / NUFLARE EBM-3500 #293817976 を販売中

ID: 293817976
Electron beam lithography system Covers Input/Output (I/O) arm Remote Monitoring System (RMS) Extra High Voltage (EHV) cabinet Automatic Lens Control (ALC) cabinet Analog Control Processor (ACP) cabinet Vacuum & Alignment Logic (VAL) cabinet Electron Optical Controller (EOC) cabinet Data Path Writer (DPW) cabinet Motion & Alignment Control (MAC) cabinet Pattern Data Formatter (PDF) cabinet PRX cabinet Power Control Unit (PCU) Transformer Rectifier Unit (TRU) Chiller Environmental Warning System (EWS) (3) Dry pumps Orion (6) Exhaust covers (8) Sub‑controller boxes (SUB), AMP boxes Cables Standard Mechanical Interface (SMIF) loader.
TOSHIBA/NUFLARE EBM-3500は、二次電子イメージング、逆散乱電子イメージング、エネルギー分散X線分光法(EDS)などの技術を提供する走査型電子顕微鏡(SEM)です。SEMは最大25mmの広い視野(FOV)と1。0 nmの解像度を実現できる高品質のイメージャを備えています。そのEDSシステムは、X線マッピングと元素解析のための高いスペクトル分解能と精度を提供します。SEMにはコールドフィールドエミッションガン(CFEG)が搭載されており、ビーム電流イメージング、高解像度イメージング、およびカソード損傷の低減を可能にします。高品質のスキャン電子光学系は、乱視と昏睡を最小限に抑えるように設計されています。SEMには、ユーザーに包括的な機能を提供するさまざまな制御および分析ソフトウェアパッケージが装備されています。これらのパッケージは、自動イメージステッチ、イメージシャープニング、スペクトログラム印刷などの機能を提供します。また、基板交換を自動化したウエハハンドラを搭載した東芝EBM-3500。最大150mm、 200mm、 300mmのウェーハをサポートし、最大20ms/ピクセルの速度でスキャンできます。SEMには、簡単なアクセスと操作のための革新的なサンプルバルコニーを備えた標本室が含まれています。それは-20°Cから15°Cに及ぶ温度で作動できます。NUFLARE EBM-3500は、アップグレードされたコンピュータシステム、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、およびプリントドライバを備えています。使いやすく、メンテナンスも簡単にできるように設計されています。EBM-3500走査型電子顕微鏡は、材料科学、ナノテクノロジー、半導体製造、冶金などの多くの分野で科学的な探査と知識を可能にするために設計された強力で汎用性の高いツールです。精密なイメージング機能、要素識別、簡単な操作など、機能の組み合わせにより、研究、産業、教育目的に最適です。
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