中古 PHILIPS / FEI XL 860 #189226 を販売中
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ID: 189226
Dual ion beam system
Electron beam: 3nm 1-30kV beam voltage
Ion beam: 7nm in second electron mode, 30kV beam voltage
Full digital control: Microsoft Win NT
Chamber: Can handle both wafers and small samples
Stage accuracy: 1.5um over 8" wafers
FE-SEM with in-lens detection
(2) GIS installed
Oxford EDS
Edward QDP dry pump.
PHILIPS/FEI XL 860は、高分解能イメージングおよび解析用に設計された最先端の走査型電子顕微鏡(SEM)です。優れた性能とデータ品質を提供するユニバーサルイメージングプラットフォーム(UIP)のカスタマイズ版が装備されています。この装置は、微細構造イメージング、臨界寸法測定、高分解能イメージング、電子プローブマイクロ解析(EPMA)などの半導体イメージングおよび特性評価アプリケーションの配列を提供することができます。FEI XL 860は、広い視野(最大30mm)と5xから500,000xまでの広い倍率を備えています。これにより、イメージングと測定の両方で高精度と高精度を実現します。また、高度なナビゲーションユニットを搭載しており、イメージング位置の制御に優れています。この機械は2つの同一の電子カラムを利用し、両方のカラムと同時にイメージングを可能にします。PHILIPS XL 860は、エネルギー分散型(ED) X線検出器を内蔵しており、幅広い要素を識別することができます。X線解析は、その組成に加えて、サンプル内の特定の元素の分布を決定するために使用することができます。これにより、サンプルの物理的特性と化学的特性の両方を理解することができます。XL 860は、強力でカスタマイズ可能なソフトウェアプラットフォームのおかげで、3Dイメージングアプリケーションをサポートすることもできます。3Dレンダリングされた画像は、ユーザーにこれまでにないレベルの詳細と精度を提供します。これらの画像は、微細な表面特徴のような従来の画像では見えない特徴を識別するのに役立ちます。PHILIPS/FEI XL 860には、その性能を高めるために、さまざまなアクセサリーが付属しています。これらには、レンズ、フォーカスロック、アナライザ、ウェーハ、サンプルホルダーの選択が含まれます。このツールはまた、最適化されたパフォーマンスを確保するために、ハイエンドのコンピュータハードウェアや周辺機器の範囲で使用することができます。全体的に、FEI XL 860は、イメージングと分析のための強力で汎用性の高いツールです。高度なUIPソフトウェア、複数のイメージングカラム、幅広い機能により、幅広いSEMアプリケーションに最適です。この資産は、ユーザーに最高レベルの情報と制御を提供し、SEMの可能性を最大限に引き出すことができます。
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