中古 LEICA MICROSYSTEMS EBPG 5000 Plus #9228860 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9228860
Electron beam lithography system
Beam generation:
Cathode: Thermal field emitter (TFE)
Schottky emitter (SE)
Beam deflection:
Method: Spot beam recorder, vector scan
Large field: 1,000 x 1,000 lbs gm2
Addressing: 20 bits main field, 14 bits sub field
Minimum address increm: 1 nm
Maximum frequency: 50 MHz
Automatic corrections
Stage:
Laser interferometer: 1024 (~0.6 nm)
Writing area: 150 x 150 mm^2
Substrate size: Up to 6"
Miscellaneous
Cassette: 10 Positions
Mechanical steaming system: Piezo active
Operating system: Linux Redhat 5
Pre-alignment microscope
Size / Thickness
3" Square / Mask / 60 mil / 2.5 mm
4" Square / Mask / 60 mil / 2.5 mm
5" Square / Mask / 90 mil / 2.5 mm
6" Square / Mask / 250 mil / 6.35 mm
3"-5" Square / Mask / 60 mil / 2.5 mm
2" Round / GaAs wafer / 300 µm – 500 µm / 1,0 mm
3" Round / GaAs wafer / 500 µm / 1.0 mm
36 m Square / GaAs wafer / 500 µm / 1.0 mm
4" Round / Si wafer / 500 µm / 2 mm
4" Round / GaAs wafer / 600 µm – 700 µm
6" Round / GaAs wafer / 600 µm – 700 µm
Power supply:
High voltage: 20, 50, 100 kV.
LEICA MICROSYSTEMS EBPG 5000 Plus走査型電子顕微鏡は、現代の顕微鏡の主要な装置です。高解像度イメージングが可能であり、正確な観察と測定を可能にするさまざまな機能を備えています。EBPG 5000 Plusは、研究中の試料をスキャンして画像化するために電子ビームを使用しており、電子光学機器は優れた画像の明瞭さ、解像度、焦点の深さを提供します。LEICA MICROSYSTEMS EBPG 5000 Plusには、表面レンダリングや試料の3D再構築などの画像処理機能を提供する高度なソフトウェアが含まれています。この高度なソフトウェアは、明るさ、コントラスト、ズーム、解像度などの画像プロパティを操作することもできます。画像のさらなる分析は、粒子分析、粒子サイズ、厚さ測定などのソフトウェアツールを通じて行うことができます。EBPG 5000 Plusには、列内SE検出器、ESEM検出器、ESEM/Qセンサー、デュアルガンシステムなど、いくつかのハードウェアコンポーネントも含まれています。カラム内のSE検出器は、高倍率・高解像度の画像を取得することができ、デュアルガンユニットは2つの異なる電子放射を同時に撮影することができます。ESEM検出器は二次電子を検出し、生物学的物質などの非導電性サンプルを撮影するために使用され、ESEM/Qセンサーは広い領域の解像度とコントラストを向上させます。LEICA MICROSYSTEMS EBPG 5000 Plusには、電子顕微鏡の動作に必要な真空環境を提供する真空機もあります。このツールはガスに対する耐性を持っているため、大気に敏感な標本を含むさまざまなサンプルを研究するために使用することができます。真空ポンピングアセットは、真空エンクロージャの振動を最小限に抑え、高解像度でシャープなコントラストで画像を撮影することができます。全体的に、EBPG 5000 Plusスキャン電子顕微鏡は顕微鏡のための強力なツールであり、研究者は高解像度、精度、速度で材料を観察し、測定することができます。その様々な特徴とコンポーネントは、試験片の分析と検査の広い範囲を可能にし、それは実験室や研究の設定のための理想的な選択肢となります。
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