中古 KLA / TENCOR ECD-2 #9269028 を販売中
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ID: 9269028
ヴィンテージ: 2005
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)
2005 vintage.
KLA/TENCOR ECD-2は、半導体メーカーや研究室に業界トップクラスの性能を提供する高解像度走査型電子顕微鏡(SEM)です。優れたスループットと低ノイズで高解像度のイメージングを提供するように設計されています。KLA ECD2は、広い温度範囲で非常に安定した精密な球状のカラム設計を採用しています。これにより、SEMは超高解像度イメージングに最適です。高度な二次電子イメージングおよびX線分光システムにより、ユーザーは高精度で特徴を視覚化および分析することができます。さらに、自動化されたステージにより、ユーザーは画像領域間を素早く移動できます。TENCOR ECD 2は、低原子数材料のより高い精度と解像度のための高度な衝突誘発解離機能を内蔵しています。これにより、より高解像度のガリウムヒ素(GaAs)および他の半導体化合物の分析が可能になります。これは、高度な半導体製造プロセスに不可欠です。KLA/TENCOR ECD 2は、1ナノメートルのライン幅を検出できる自動サイドウォール検査機能を備えています。これにより、SEMは現在の半導体技術を分析するための不可欠なツールとなります。さらに、マイクロスケールの材料分析機能により、プロセス技術の迅速で費用対効果の高い評価が容易になります。KLA ECD-2の電子光学機能を組み合わせることで、信頼性の高い強力なイメージングシステムとなります。デジタル信号処理システムは、画像データの解像度を向上させます。これにより、TENCOR ECD-2はこれまで以上に高速な高解像度画像をキャプチャできます。KLA/TENCOR ECD2は操作が簡単なユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。真空システムは、SEMの正しい動作に必要な環境を提供するために構築されています。さらに、KLA ECD 2には、最高の画質を確保するためのエアポンプと湿度制御システムが装備されています。結論として、ECD2は半導体メーカーや研究室に業界をリードする性能を提供する高解像度SEMです。高度な二次電子イメージングおよびX線分析装置により、特徴を正確に分析することができますが、自動サイドウォール検査機能により、現在の半導体技術を分析することができます。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと温度、真空、湿度制御システムを内蔵しているため、理想的なイメージングツールとなります。
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