中古 KLA / TENCOR ECD-2 #293822638 を販売中
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ID: 293822638
ヴィンテージ: 2005-2007
Critical Dimension Scanning Electron Microscopes (CD-SEM)
2005-2007 vintage.
KLA/TENCOR ECD-2は、材料表面の定性的・定量的なデータを収集・分析できる走査型電子顕微鏡（SEM）です。ピーク分解能1。2nmのフィールド放出SEMです。その先進的な技術により、材料科学から産業検査まで幅広い用途に適しています。その汎用性により、ナノパッタニング、表面解析、微細構造解析、成膜、エッチングなど、さまざまな役割で使用できます。KLA ECD2には、二次電子用の低エネルギー検出器（LED）と高分解能イメージングおよび解析用の追加の逆散乱検出器（BSED）が装備されています。LEDを使用すると、検出器は電子エネルギーを減少させ、9。35 keVまで低く分析することができます。これは、より高いエネルギーで損傷するデリケートなサンプルを調べるのに有益です。LEDは、地形から汚染や欠陥まで、さまざまな表面機能を検出できます。最大の柔軟性のために、LEDはSEMイメージング、STEMイメージングおよびEDX分析で使用することができます。TENCOR ECD 2には、高解像度イメージングを向上させるためのコールドフィンガーフィールドエミッションガン（CFG）も搭載しています。CFGは、安定性の向上により、ピーク分解能1。2nm、最大作動距離4。3mmの画像と解析を生成することができます。この改善された信号対ノイズ比は、ナノ粒子やナノ構造などの小さな特徴を検出するのに適しています。また、TENCOR ECD2は5軸ステージを備えており、不規則な形状のサンプルに対応するために完全な360°回転を可能にします。KLA ECD-2は、効率的なデータ収集と分析のためのさまざまな自動化機能も備えています。デュアルオートフォーカスシステムにより、平面モードと表面モードの両方で迅速かつ正確なオートフォーカスが可能になります。さらに、直感的なタッチスクリーンディスプレイを備えたコントロールキャビネットと4位置マウスポインティングデバイスを備えたユーザーフレンドリーなデザインです。KLA ECD 2は強力な走査型電子顕微鏡で、イメージングと解析の強力な組み合わせをユーザーに提供します。フィールドエミッションガン、LED検出器、5軸ステージを備え、材料科学、産業検査など、高解像度のイメージングと分析を必要とする用途に最適です。さらに、その自動化機能と直感的なユーザーインターフェイスは、イメージングと分析プロセスを合理化するために探している人にとって理想的な選択肢です。
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