中古 KLA / TENCOR 8250 XPT #293820567 を販売中
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ID: 293820567
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 2001
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 4"-6"
Wafer handler
Robot
(3) Loaders
Pre-aligner
SEMI Equipment Communications Standard / Generic Equipment Model (SECS/GEM) interface
Vacuum system
2001 vintage.
KLA/TENCOR 8250 XPTは次世代走査型電子顕微鏡(SEM)で、半導体デバイス製造、ナノテクノロジー、材料計測など、さまざまな分野の研究開発のための材料やデバイスの原子レベル特性評価用に設計されています。KLA 8250 XPTは、顕微鏡が0。1 Paの圧力まで作動することを可能にする真空設備を備えており、最高分解能のイメージング機能を可能にします。また、全自動の試料調製チャンバーと迅速な試料交換システムを備えており、分析のための試料を迅速かつ正確に準備することができます。TENCOR 8250XPTは、多軸ゴニオメーターと二次平面ステージを備えた5軸ステージを使用しており、小さな欠陥の検出を妨げることなく、さまざまな種類のサンプルを検査することができます。このステージは、4つの独立したイメージセンシングプローブを使用して、任意のサンプルに最適な焦点レベルを正確に検出する高精度オートフォーカスシステムと組み合わされています。この顕微鏡は、可変スポットサイズの電子銃から可変チャンバー軸ガンまで、さまざまな電子銃の構成を備えています。これにより、イメージング用途ごとに適切なビームスポットサイズとエネルギーが使用されます。KLA 8250XPTは、シンチレータ構成の改良を利用して、低ビーム電流モードと高ビーム電流モードの両方で高解像度の画像を生成します。8250 XPTにはEurekaという名前の制御ソフトウェアプラットフォームがあります。このソフトウェアは、統合された自動欠陥レビュー、オーバーレイ、断面フィールド解析、電子後方散乱回折、パターン認識、および自動パターンアライメントなどの高度な機能を提供します。さらに、TENCOR 8250 XPTには統合されたユーザーコンソールがあり、オペレータがスキャン電子画像をキャプチャして分析できるように直感的なインターフェイスを提供します。これにより、顕微鏡のすべての機能にすばやく簡単にアクセスでき、さまざまなデータ処理および分析機能を提供します。全体として、KLA/TENCOR 8250XPTは最先端の走査型電子顕微鏡であり、半導体デバイスや材料の特性評価に優れた性能と精度を提供します。幅広い電子銃とシンチレータの構成、柔軟なステージシステムと包括的なユーザーインターフェースの組み合わせにより、8250XPTは多くの分野で研究開発のための強力で汎用性の高いツールとなります。
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