中古 KLA / TENCOR 8100XP #9258655 を販売中

ID: 9258655
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM).
KLA/TENCOR 8100XPは、高度な光学顕微鏡技術と走査型電子顕微鏡技術、解析ソフトウェアアプリケーションを組み合わせ、材料、デバイス、その他のコンポーネントの高解像度イメージングと検査を可能にする装置です。最先端の走査型電子顕微鏡(SEM)で、10ナノメートルの小型デバイスの非破壊検査と非接触検査を可能にします。これは、超高解像度の広い領域のイメージングとともに、最大200kXの比類のない倍率を提供します。KLA 8100XPは、Semiconductor Imaging Microscope (SIM)と呼ばれる本体で構成されています。このユニットには、イメージング用の高度な電子ガンエミッタと、さまざまな電子タイプの信号をピックアップする3D検出器が含まれています。また、デジタル画像処理システムとともに、デバイスの操作と測定のための特別な段階も含まれています。このユニットは、高解像度の画像を提供しながら、非常に小さな機能を高速かつ正確に分析できるように設計されています。TENCOR 8100 XPは、ナノメートル分解能で表面を検査するために設計された透過電子顕微鏡(TEM)モードを使用します。これにより、試験対象試料の結晶配向、ドーパント濃度などの物性特性を検出することができます。さらに、8100XPの3Dイメージングマシンは、欠陥、粒度、深さなどの地形特性を評価することができます。さらに、SEMは、複数の画像を1つの画像に結合することにより、より大きな画像を作成することができる自動画像ステッチ技術を利用しています。これにより、より大きなサンプルの表面特性を正確に評価することがはるかに容易になります。TENCOR 8100XPには、機能認識、パーティクルカウントおよびサイズ解析、線幅測定、およびその他のプロファイル測定などの自動計測機能を提供するオプションのアドオン、ソフトウェアアプリケーションも含まれています。これらのアプリケーションは、より複雑なコンポーネントの表面をすばやく分析できるため、ユーザーの時間と労力を節約できます。全体として、KLA/TENCOR 8100 XPは、ナノ材料やその他の小型デバイスの分析用に設計された強力な機器です。高解像度のイメージング機能を提供し、最小の機能の検査と分析を可能にします。さらに、オプションのソフトウェアアプリケーションにより、サーフェスの高速かつ自動化された解析が可能になります。
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