中古 KLA / TENCOR 8100XP #293662978 を販売中

KLA / TENCOR 8100XP
ID: 293662978
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM).
KLA/TENCOR 8100XPは、主要な光学計測および検査メーカーKLAによって開発された走査型電子顕微鏡(SEM)です。表面解析、イメージング、欠陥検査において卓越した性能を発揮します。KLA 8100XPは、すべてのアプリケーションで究極の画質を提供する高度なPrimExビームシステムを備えています。精密で高解像度の3D画像を、比類のないディテールとエッジの忠実度でレンダリングします。さまざまな深さの欠陥領域を簡単に調べることができ、アプリケーションに応じて最適な画像を取得する柔軟性があります。TENCOR 8100 XPは8インチウェーハの広い視野を備えており、より高速な解析とより詳細な画像を得ることができます。これまでにない6。4nm解像度で高解像度の画像が生成されるため、トランジスタ、MEMS構造、薄膜などのデバイス構造の微細な特徴を識別するのに最適です。このSEMは高速データ収集機能と組み合わせることで、現場やリアルタイムで変化する現象をすばやく観察することができます。さらに、8100 XPは包括的な分析機能を備えています。バックサイドイメージングシステムを搭載し、構造物の全面断面図を提供し、設計仕様と直接比較することができます。検出器の幅広い選択によって可能になった高度なマイクロアナリシス機能は、サンプルから重要な元素情報を抽出する高度なエネルギー分散分光法(EDS)およびエネルギーフィルターイメージング(EFI)を提供します。さらに、8100XPには自動化されたステージと直感的なワークフローオートメーションソフトウェアが付属しています。このユーザーフレンドリーなパッケージは、計測および欠陥検査時の生産性の向上と精度の向上を可能にします。KLA/TENCOR 8100 XPは、高速、正確、再現性の高い高解像度表面解析および欠陥検査用の主要SEMです。ユーザーフレンドリーなプラットフォーム、包括的な分析機能、高度なイメージングシステムにより、研究および産業用途に最適です。
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