中古 KLA / TENCOR 8100 #9377283 を販売中

KLA / TENCOR 8100
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
8100
ID: 9377283
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8".
KLA/TENCOR 8100は、材料特性評価、故障解析、ウェーハ検査など、幅広いイメージングおよび解析アプリケーション向けに設計された走査型電子顕微鏡(SEM)です。広い領域でのサブナノメートル分解能が可能であり、先進的な研究および業界アプリケーションに最適なツールです。KLA 8100には高解像度SE-SEM検出器が搭載されており、検出感度の向上と解像度の向上による高コントラストイメージングを提供します。この検出器はまた、広い視野と高速スキャンのためのローリングフレームスキャン機能を備えています。この検出器は、高解像度のピンホールビームと組み合わされ、高画質画像を実現します。SEMの主なスキャンおよびイメージング機能には、ポジショニング、倍率、フォーカス、解像度、ビームエネルギーなど、さまざまなサンプルパラメータを制御する多色デジタル表示システムが搭載されています。SEMはまた、定量的EDX(エネルギー分散X線分析)、要素マッピング、画像算術、および逆散乱電子(BSE)イメージングなどの様々な分析機能を提供しています。TENCOR 8100には、さまざまなイメージングおよび分析タスクの要件を満たすように設計されたサンプル機能設定が用意されています。グラフィックユーザーインターフェイスを介して簡単に操作でき、オペレータはマウスを数回クリックするだけでパラメータを選択できます。このシステムはまた、自動イメージングと分析機能の広い範囲を提供しています。このSEMは、高真空使用に敏感なサンプルに対して低真空運転を提供します。また、高さ、形状、表面の質感に関係なく、サンプルのシャープな画像を保証する3軸オートフォーカス機能も備えています。8100はまた、さまざまなサンプルチャンバーやホルダーで使用できる柔軟性を備えているため、幅広いイメージングおよび分析アプリケーションに最適です。
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