中古 KLA / TENCOR 8100 #9203296 を販売中

KLA/TENCOR 8100は、イメージングおよび組成解析用に設計された高性能な走査型電子顕微鏡（SEM）です。コールドフィールドエミッタ源と高性能SE検出器を備えています。電子光学系は、高度なカラム設計に基づいており、幅広い作業距離と倍率にわたって優れたイメージング機能を提供します。この顕微鏡は、サブナノメートル分解能イメージングが可能であり、低放射モードでは、組成解析のための小さなビームサイズに対応することができます。KLA 8100は高い分析感度を持ち、効率的なイメージングと組成解析のための高度なスキャンと精密制御を提供します。それは深さ方向の化学組成を分析するために深さのプロファイリングが可能です。光学的に強化されたバックスキャッタ検出器とデュアルイオン検出器を内蔵しており、元素マッピングと組成解析のためのイオンエネルギースペクトルを測定します。TENCOR 8100は、試験片の取り扱い、サンプルの向き検出、自動画像キャプチャ、画像ステッチなどの統合タスクなど、ユーザーフレンドリーなワークフローのための幅広い自動化機能を提供します。この顕微鏡は、低真空・中真空の測定ステージと組み合わせて、顕微鏡と真空ステージの間で自動的にSEMサンプル交換を行うことができます。8100は、低ビーム電流で優れたコントラストと高い信号とノイズ比の画像を生成するため、ユーザーは最小充電アーティファクトで最大限のディテールと広い視野を得ることができます。自動化された機能とソフトウェア制御の画像合成により、多変量解析の作業時間が短縮されます。KLA/TENCOR 8100は、金属、セラミックス、無機材料、複合材料、工業用高分子、生体試料などの幅広い材料を研究する、半導体の故障解析に最適なツールです。また、デバイス構造の特性評価、表面形態およびリソグラフィ欠陥の評価、粒子サイズ、形状、表面粗さの測定にも適しています。