中古 KLA / TENCOR 8100 #188124 を販売中

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製造業者
KLA / TENCOR
モデル
8100
ID: 188124
CD SEM Version: 125-200 MM Resolution 3.4 to 3.6 nm at 600v Pipeline mode better than 90 wph, 3 sigma on 0.3 um line=0.3, Loadable wafer size 4.5 inch, 125 mm, 200 mm Operating system V7.6,8100 sw version 2.3.2 Stage precision 1.4 um in x and 1.6 um in Y Column Vacuum 1.5 x 10-7 Torr Chamber vac. 1.8 X 10-7 Torr Missing Metrofocus 1998 vintage.
KLA/TENCOR 8100は高度な走査型電子顕微鏡(SEM)で、科学者が必要とする最高の画像解像度と汎用性に最適な性能を提供します。幅広い研究・製品開発用途に、最大限の柔軟性と制御を提供することができます。KLA 8100の中核となる装置は、電子柱、高出力の電子源、およびデジタル画像検出および処理システムのセットで構成されています。電子カラムは、顕微鏡の光学およびイメージングサブシステムとして機能し、対物レンズとセミアポクロマットレンズの2つのレンズが含まれています。これらのレンズは、試料の領域に電子を集中させるように設計されています。対物レンズには、レンズの倍率範囲を選択するための絞りも含まれています。電子源は、エネルギー源であるイオンガンとフィラメント加熱機構の2つのモジュールに分かれています。イオン銃はガスジェットを使用して、試料上の特定のスポットに焦点を当てた高エネルギーの電子ビームを生成します。フィラメント加熱機構は、電子のエネルギーを制御し、画像のコントラストを安定させます。これにより、TENCOR 8100は優れたコントラストと解像度で正確な画像を取得できます。8100はまた、様々な倍率でサンプルの画像をキャプチャし、処理するデジタルイメージング検出システムを備えています。画像をキャプチャするには、3つのチャンネル(基本チャンネル、中間チャンネル、上級チャンネル)を組み合わせて使用します。基本的なチャネルは、一般的なイメージングアプリケーション、低解像度ラインスキャンを実行するための中間チャネル、高解像度画像をキャプチャするための高度なチャネル向けに設計されています。KLA/TENCOR 8100は、取得した画像のノイズを低減するために一連の高速コンピュータアルゴリズムを使用するノイズ低減ユニットを備えています。KLA 8100で撮影した画像の鮮明性を維持し、画像品質を向上させることができます。また、TENCOR 8100は、通常は大気圧で観測する必要のあるサンプルを使用することができる可変圧力操作を備えています。これは、8100を使用して、自然の動作条件に近い環境でサンプルを観察することができることを意味します。全体として、KLA/TENCOR 8100は、最先端のイメージング性能と汎用性を提供する高度なSEMツールです。高解像度イメージング機能、可変圧力動作、ノイズ低減アセットにより、幅広い研究・製品開発アプリケーションに最適です。
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