中古 JEOL JBX-9300FSZ #9236559 を販売中
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販売された
ID: 9236559
E-Beam lithography system
Cassette loader and control computer
Power racks and HV tank
Manuals and schematics
Gaussian spot electron beam: 4nm diameter
Accelerating voltage: 50 kV / 100 kV
Current range: 50 pA - 100 nA
Scan speed: 50 MHz
Vertical range automatic focus: ±100 µm
Vertical range manual focus: ± 2 mm
ZrO With thermal field emission source
Vector scan for beam deflection
Maximum 300 mm (12") wafers with 9" of writing area
Line width writing at 100 kV: < 20 nm
Field stitching accuracy at 100 kV: < 20 nm
Overlay accuracy at 100 kV: < 25 nm.
JEOL JBX-9300FSZは、研究者に高性能なイメージングと分析機能を提供する走査型電子顕微鏡(SEM)です。このツールは、自動化されたサンプルハンドリング装置や高分解能光学などの機能を備えた高分解能の時間イメージングまたは断面イメージングおよび優れた元素解析を提供します。JEOL JBX 9300FSZの主要コンポーネントには、高分解能の荷電粒子光学カラム、高感度二次電子検出器、自動試料処理システム、フォーカスイオンビーム(FIB)があります。光学カラムは最大解像度0。4ナノメートルで、0。1ナノメートルまでのダイナミックフォーカスを提供し、ユーザーはあらゆるサンプルの微細な画像と元素分析を行うことができます。二次電子検出器は、0.1Vから30kVまでのエネルギー範囲の電子を検出することができ、ユーザーはサンプルの高解像度画像を得ることができます。自動化されたサンプルハンドリングユニットは、サンプルの自動ロードとアンロード、ならびに電子ビームの自動センタリングとキャリブレーションを可能にします。JBX-9300FSZには、最大10mm/秒のスキャンが可能な高速スキャンステージ、多種多様な偏光検出器、クライオプローブ、およびサンプルホルダーの選択も含まれています。クライオプローブを使用すると、-247°Cの低温でサンプルを撮影できます。サンプルホルダーは、1 x 1 mmから150 x 150 mmのサイズのサンプルを保持します。スキャンステージには、ガス分析用の抽出モデルを簡単に統合するための真空対応コネクタもあります。JBX 9300FSZでは、解析や画像処理用のさまざまなソフトウェアパッケージも提供しています。これらのソフトウェアパッケージには、画像解析と測定のためのパッケージと、3次元再構築のためのパッケージが含まれます。これらのプログラムは、高度な機能抽出とセグメンテーションツールだけでなく、高度なグラフィカルおよび数値データの視覚化を提供します。全体的に、JEOL JBX-9300FSZは、高度なイメージングと分析機能を備えた優れた走査型電子顕微鏡です。その幅広い機能により、高解像度のイメージングや複雑なサンプルの分析に最適です。これらの特徴は、その印象的な解像度と自動化されたサンプルハンドリングマシンと相まって、高解像度の画像や要素情報を取得しようとしている研究者にとって理想的な選択肢となります。
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