中古 JEOL JBX-6300 #9393311 を販売中
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ID: 9393311
E-Beam lithography system
Silicon substrate, 8"
Polymer coated wafer
Pattern: Resist
Motorized aperture
Loader push rod loadlock
(2) Pumps
SF6 Tank
Emitter:
White: 120 kV
High-voltage connecter
Water cooled blanker
High brightness field emission electron source
Acceleration: 100 keV
25 MHz Deflection system
With magnetic lens
Beam diameter: 2 nm
Pattern diameter: 8 nm
Laser controlled stage capable: 1 cm
Power supply: 208 V.
JEOL JBX-6300は、主にサンプルのイメージングや微細分析に使用される走査型電子顕微鏡（SEM）です。最先端のイメージング技術を備えており、研究者はナノメートルスケールまで標本を表示および分析することができます。この顕微鏡には、高解像度のイメージングおよび解析機能を提供する多くの機能が搭載されています。JEOL JBX 6300は、電子の高分解能フィールド放出源を生成することができるThermo-FET超高真空フィールド放出銃を装備しています。ナノスケールターゲットの高分解能イメージングを可能にするフィールド放射銃です。さらに、JBX-6300はマルチモード信号処理システムを備えており、研究者はさまざまな画像処理モードと処理モードを切り替えることができます。このシステムにより、サンプルに最適な信号処理モードを選択できるため、解析精度が向上します。JBX 6300には、3D、バックスキャッター、二次電子イメージングなどの高度なイメージングおよび解析機能が搭載されています。3D画像は、2D画像よりもサンプルの地形をより正確に表現します。バックスキャッターイメージングにより、光学顕微鏡では見えない微妙な特徴を検出することができます。二次電子イメージングは、サンプルと背景の組成的な違いを検出するために使用されます。これらのイメージング機能により、研究者はナノメートルスケールのサンプルの構造と組成についてより多くの洞察を得ることができます。JEOL JBX-6300には様々なサンプル操作機能が搭載されています。電動ステージは、ステージが傾いて回転している間、電子ビームの下でサンプルを移動させることができ、サンプルの簡単なナビゲーションを可能にします。さらに、この顕微鏡には、分析のための反応ガスを注入するためのガスセルが装備されています。ガスセルは、研究者がさまざまな圧力および/または温度条件下でサンプルを分析することができます。また、JEOL JBX 6300にはX線マイクロプローブが内蔵されており、非破壊的な方法でサンプルの元素組成を解析することができます。X線マイクロプローブは、ナノメートルスケールまで軽く、重く、高貴な要素を検出することができます。JBX-6300は、ナノメートルスケールでのイメージングとマイクロ解析が可能な強力な走査型電子顕微鏡です。フィールドエミッションガン、マルチモード信号処理システム、電動ステージ、ガスセル、X線マイクロプローブなど、さまざまな高度な機能を備えており、研究者はナノスケールの構造と組成を表示および分析する強力な機能を提供します。
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