中古 ISI DS 130B #9308918 を販売中
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ISI Atomscan Instruments社製のISI DS 130Bは、走査型電子顕微鏡(SEM)です。電子顕微鏡の一種で、集束電子ビームを用いて試料表面をスキャンし、試料の高解像度画像を作成するために使用される二次電子信号を構築します。DS 130Bは3軸電動X-Yステージを搭載し、正確なサンプル位置決めが可能です。最大20mA、 200V-2kV加速電圧の調整可能な電子ビーム電流、および高い二次電子信号出力を備えています。SE、 BSE、 ESEM (Environmental Scanning Electron Microscopy)など、さまざまな動作モードがあります。その電子コントラストのおかげで、ISI DS 130Bは、最大2nmの解像度で非常に詳細な表面地形画像を提供します。SE検出器で得られた画像は解像度が向上しており、BSE検出モードでさらに強化されています。DS 130Bには、ゲート制御のリフト高さとスキャン領域を備えたPiezo Lift Proberが搭載されており、信頼性と正確な測定が可能です。Piezo Lift Proberは、試験片との干渉を最小限に抑えながら、動作中に最高の精度を維持するように設計されています。オートフォーカス、オートアライメント、イメージステッチなどの機能により、ISI DS 130Bウェーハ解析などの地形イメージングに最適です。さらに、AppHeater™試料ホルダーは、試料の信頼性を高め、試料調製時の粒子汚染を最小限に抑えます。DS 130Bは、サンプルの高解像度イメージング用に設計された信頼性が高く、使いやすい走査型電子顕微鏡です。精密な測定精度を持ち、複雑なサンプルでも高品質な二次電子信号を保証します。
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