中古 HITACHI S-9380 II #9273525 を販売中
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ID: 9273525
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD SEM), 12"
(3) Ports (TDK TAS 300)
TAZMO (Robot and aligner)
FA-PC
2005 vintage.
HITACHI S-9380 IIは、焦点を当てた電子ビームで表面をスキャンすることで表面の近似画像を撮影することを目的とした走査型電子顕微鏡(SEM)です。最大30kVの加速電圧を持ち、解像度は0。9nm@15kVです。柔軟なEビームパワーコントロールにより、顕微鏡は分析電子断層撮影を含む幅広い用途に使用できます。この顕微鏡には、精密な表面イメージングのために電流密度の高い電子ビームを発するLaB6 (Lanthanum Hexaboride)電子銃が装備されています。この高性能により、表面イメージングからナノスケール構造解析まで、さまざまな用途に適しています。HITACHI S9380 IIには、サンプル転送システム、サンプル回転ステージ、サンプル加熱ステージなど、さまざまなサンプル処理ツールがあります。汎用性の高い高解像度SEMで、ハイエンドの分析イメージングおよび研究アプリケーションに最適です。顕微鏡は、ユーザーの要件に基づいて選択することができ、画像をキャプチャするさまざまな検出器を提供しています。これには、絶え間なく冷却された二次電子検出器(SED)、絶え間なく冷却された後方散乱電子検出器(BES)、および絶えず充電された差動パルス電荷検出器(DCPD)が含まれます。また、新しいオートフォーカスとサンプルアライメント(AFSA)システム、自動ビームセンタリング、イメージステッチなど、操作を容易にする自動機能も備えています。このシステムを使用すると、サンプルからサンプルへの繰り返し可能なスキャンを簡単に実行できます。高解像度、高スループット、多彩なサンプル操作ツールを組み合わせたS-9380-IIは、ナノメートルスケールのイメージングとハイエンドの分析断層撮影に使用できます。その優れた性能と汎用性により、幅広い研究用途に適しています。
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