中古 HITACHI S-9380 II #9241982 を販売中

HITACHI S-9380 II
製造業者
HITACHI
モデル
S-9380 II
ID: 9241982
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD SEM), 12" 2004 vintage.
HITACHI S-9380 IIは、複雑なサンプル構造をより詳細に可視化・分析できる高度なイメージング機能をユーザーに提供するために設計された走査型電子顕微鏡(SEM)です。このシステムには、高性能で広範囲のフィールドエミッションソース(FES)が装備されており、最高解像度のイメージングを保証しながら、幅広い用途に幅広いイメージングおよび分析技術を提供します。2nm以上のサブナノスケールまでの解像度を実現し、高速な画像処理とデータ取得が可能です。高度な半導体不全解析、メタログラフィー、プロセス監視、汚染検査、故障解析など、多くのイメージングアプリケーションに適しています。SEMには、自動化されたサンプルおよびステージコントロールオプションのフルレンジが装備されています。これには、低ドリフトの高精度XYステージ、精度と再現性の向上、および革新的なサンプリングチャンバー設計が含まれます。デュアルモードサンプルカメラオートメーションは、制御された角度サンプリングに加えて、チャンバー内の任意の位置に高速フォーカスとナビゲーションを提供します。コントロールソフトウェアには直感的なコマンドと画像処理ツールがあり、使いやすくセットアップが簡単です。SEMには、X線エネルギー分散分光法(EDS)やエネルギーフィルタイメージング(EFI)などの高度な検出システムが搭載されており、低騒音で汚染検出機能が強化された鮮明な詳細画像を提供します。試料ホルダーは、液体および真空試験片を含む様々なサンプルに対応するように設計されており、複数のホルダーとオプションがあります。対象領域の検出に最大限の柔軟性を提供する入射ビーム角度調整を提供する電子ビームガンが含まれています。試料プラットフォームは、傾斜および回転測定用に構成することもできます。イメージングに関しては、HITACHI S9380 IIに0。2nmまでのディテールをキャプチャする高解像度低ノイズカメラを搭載しています。高速なデータ転送で画像を素早く保存でき、ユーザー間のデータ共有を高速化できます。カメラはまた、パターンや画質の堅牢な分析を可能にするビデオモードの広範な選択を提供しています。さらに、S-9380-IIシステムは、自動スペクトル解析、粒子識別、スペクトルオーバーレイなどの分析機能を備えた高感度元素解析にしばしば使用されます。全体として、S-9380 IIは高度なイメージングおよび分析機能を提供する強力な走査型電子顕微鏡です。複雑な構造をサブナノメータスケールまで可視化および分析することができます。高精度のサンプルとステージ制御、直感的な制御ソフトウェア、高度な検出システムは、さまざまなアプリケーションに必要な柔軟性と精度をユーザーに提供します。
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