中古 HITACHI S-9300 #9169651 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9169651
ウェーハサイズ: 8"
CD Scanning electron microscope (CDSEM), 8"
Electron optical system:
Electron gun: Schottky emission source
Accelerating voltage: 500 V to 1600 V, 10V Steps
Probe current: 4~24pA
With automated setting and measurement by Faraday cup
Electromagnetic lens: (3) Stages
System with boosting voltage
Objective lens:
(4) Opening click stops
Heated aperture
Scan coil: (2) Stages electromagnetic deflection
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification: 1000x to >300000x
Field control method: Sample de-charging
Wafer imaging ability: Entire surface of 8” (or 12”) wafer
Depth of focus: >= 1.0um at 80000x magnification
Resolution: 3 nm (800V) Retarding / Boosting mode
HITACHI Probe tip
Optical microscope system:
Monochrome image, using CCD camera
Magnification: 110x
Wafer imaging:
X Coverage: 5-295 mm
Y Coverage: 5-195 mm
Notch down
Field of view: 1.2 mm
Workstation:
Model: HP B180L (9GB)
O/S: Unix version HP-UX 10.20
Software version: 14.71
SECS/GEM Communication interface
Dual XY HITACHI microscale
DSP Image processing
BSE Mode functionality
Multipoint measurement function
Edge roughness function
Automated image archiving function
Others:
(2) 200 mm Wafer handling systems
Cassette holders / Ergo flippers
Convertible to 300mm with conversion kit BRK-287006300
Currently crated and warehouse.
HITACHI S-9300は、様々なサンプルの構造を観察・解析するために使用される走査型電子顕微鏡（SEM）です。このSEMは可変圧力（VP）装置で、電子ビームの圧力を制御することができ、微細な粒子や構造の観察と分析が可能です。HITACHI S9300は、5チャンネルのビデオポートを使用して高速な画像キャプチャを可能にし、最大500,000Xのリアルタイムの画面上の倍率を実現しています。このデバイスはまた、高度な画像処理ソフトウェアを備えており、ラベル付け、コントラスト調整、ガンマ補正、無制限のビニング機能など、さまざまな画像強化を可能にします。S 9300は電界放出電子銃をその源として利用し、クリーンビームの電子をサンプルに送ることができる。この銃は高級タングステン材料で作られており、標準および高解像度の両方の設定で、約16ナノメートルの解像度を提供することができます。S-9300の高精度スポットサイズは、15軸モーションコントロールシステムによって維持されています。このモーションコントロールユニットは、鋭く精密な動きを可能にし、エッジツーエッジイメージングを実現します。また、電子ビームの機械的な分解も防止し、微粒子の画像を歪みなくレンダリングすることができます。S9300は、強力な照明とイメージング機能を提供する特許取得済みの光学ツールを備えています。この光学アセットは、5レンズの対物レンズ柱と5レンズプロジェクターコラムで構成されており、いずれも低摩擦、高精度グレードのガラスから製造されており、画像とサンプルの最高の定義を保証します。また、HITACHI S 9300には高度な制御面が採用されています。この8。4 インチLCDカラーディスプレイは、カスタマイズのためのさまざまなオプションを備えたわかりやすい画面メニューへのユーザーの迅速なアクセスを提供します。日立S-9300では、上記の特徴に加えて、エネルギー分散X線分光法や電子逆散乱回折など、様々な方法でサンプルを解析することができます。また、当社S9300はクリーンルームでの動作も認証されており、半導体デバイスの製造・解析に最適です。結論として、S 9300は非常に効果的で汎用性の高い走査型電子顕微鏡であり、さまざまなアプリケーションに高度な機能と高度なハードウェアを提供します。高精度な光学、洗練されたモーションコントロールモデル、リアルタイム画像キャプチャ機能を備えたS-9300は、微細な粒子や構造を観察および分析するための理想的なプラットフォームを提供します。
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