中古 HITACHI S-9300 #9032647 を販売中
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販売された
ID: 9032647
ヴィンテージ: 2001
CD Scanning electron microscope, 8-12"
Electron optical system:
Electron gun: SCHOTTKY Emission source
Electro magnetic lens:
3-Stage electromagnetic lens system with boosting voltage
Objective lens: (4) Openings click stop
Heated aperture is selectable / Adjustable outside the vacuum
Scan coil:
2-Stage electromagnetic deflection
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification: 1000x to > 300000x
Field control method: Continuously on for sample discharging at all voltages
Wafer imaging ability; Entire surface of 8” (or 12”) wafer
Depth of focus: >= 1.0 um at 80000x magnification
Resolution: 3 nm (800V) Retarding / Boosting mode
Hitachi probe tip
Power: 208 V 60 Hz 6 kVA 1 Phase
CD Measurement principle: Cursor and line profile measurement
Optical microscope system:
Image is monochrome
CCD Camera
Magnification is 110x
Wafer imaging:
X Coverage from 5 – 295 mm
Y Coverage from 5 – 195 mm
Notch down
Field of view: 1.2 mm
Accelerating voltage: 500 V to 1600 V, 10 V steps
Probe current: 4~24pA
Workstation:
Model: HP B180L (9GB)
O/S: Unix version HP-UX 10.20
Software version: 14.71
SECS / GEM Communication interface
Dual XY HITACHI micro scale
DSP Image processing
BSE Mode functionality
Multipoint measurement function
Edge roughness function
Automated image archiving function
Wafer handling system: (2) Cassette holders / ergo flippers
Convertible to 300 mm with conversion kit BRK-287006300
Water chiller unit
Main unit:
HV Controller
Lens PS unit
DEF PS Unit
Laser receiver unit
X-Axis laser unit
Laser linear scale cover
X-Axis excel precision PCB
Y-Axis excel precision PCB
STSensor PCB (R)
STSensor PCB (R)
STSensor PCB (L)
Secondary electron detection: SE and BSE electrons
Aperture ass'y
Ion pump 1, Ion pump 2, Ion pump 3 & controller
TMP1, TMP2 & controller
Stage controller
Display Unit:
Display of SEM and OM images, GUI operation screen
HP Workstation (B180L)
Keyboard & Mouse
FDD
MO Disk drive
System controller
ECPU 263 Controller
C-820A Controller
4500 COGNEX Controller
NMEN Controller
SIP Controller
PSDISP Controller
NSGVA Controller
EOCONT Controller
NOMAFC Controller
STAGE EBSI100 Controller
WT EBSI100 Controller
EVAC EBSI100 Controller
HV EBSI100 Controller
AMHSIO Controller
Power unit:
NIP Board
PS CN PCB
UPS Unit
Main power switch unit
ION pump power supply unit
Power distribution unit
Transformer unit
Port 1:
Door case
EFEM Unit:
Robot ass'y
Ceramic arm
Prealigner
Includes:
Load port 1
Load port 2
WT Controller
Chiller
Option:
Dry pump
Missing parts:
Display unit:
SIP Board
Cognex 4500 board
LAN HUB unit
HDD
Currently de-installed
2001 vintage.
HITACHI S-9300は、材料分析の分野での高度な用途のために設計された走査型電子顕微鏡（SEM）です。高倍率、優れた解像度、さまざまな方法で画像を作成することができます。HITACHI S9300の電子カラムは、2。5nmの解像度で最大570,000 ×の天体拡大が可能で、従来の光学顕微鏡に到達できなかった領域への洞察を得ることができます。その結果、大小の構造を極端に鮮明に捉えることができ、顕微鏡分析に最適です。この顕微鏡には、六塩化ランタン（LaB6）電界放出銃（FEG）とCS中心のショットキー電界放出銃（FE）が搭載されているが、より高い倍率での高性能を可能にしている。さらに、マルチフォーカス設定により、固定フォーカスを維持しながら2つの倍率を切り替えることができます。SEMはまた、二次電子検出器、電界放射走査電子検出器、エネルギー分散X線検出器（EDS）、波長分散X線検出器（WDS）、単色X線検出器（XRF）などの包括的な検出器を誇っています。この幅広い検出器により、ユーザーはどのような材料からでも簡単にデータを取得できます。さらに、SEMには、背景散乱電子イメージング（BSE）、加速電圧コントラストイメージング（AVM）、反射電子イメージング（REI）、および複数のイメージングトモグラフィーモードなど、さまざまな事前プログラム化されたイメージングモードがあります。全体的に、S 9300は、高倍率で材料の非常に詳細な画像を生成することができます、また、検出器やイメージングモードの広い範囲を持っています。その機能と機能は、材料の内部の仕組みを調査するために探している人のための貴重なツールになります。
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