中古 HITACHI S-8840 #9214004 を販売中
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販売された
ID: 9214004
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 1997
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 6"-8"
Workstation:
Model: B180L
Operating system: HP Unix
SEMI / JEIDA: Flat / V Notch wafers
Measurement method: Curser / Line profile
Measurement range: 0.1 ~ 11 µ m
Measurement repeatability: ±1% / 2 nm (3s)
Throughput: 26 Wafers / Hour
Secondary electron image resolution: 5 nm
Image magnification: 1,000x ~ 150,000x
Measurement points:
1 Point / Chip
(5) Chips / Wafer
Electron optics system:
Electron gun: Schottky emission type
Accelerating voltage: 500 to 1300 V
Lens system: Electromagnetic condenser lens system and FCM objective lens
Secondary electron detection method: 2-Stage electromagnetic deflection
Objective lens aperture: Heating type movable aperture with fine adjustment
Scanning method: 2-Stage electromagnetic method
Astigmatism correction method: 8 Polar electromagnetic method (X and Y axis)
Monitor: Faraday cup incorporated with automatic measurement function
Optical microscope: 1.2 mm² Visual field, monochrome image
Stage:
Movement range:
X and Y: 0 ~ 200 mm
Driving method: Pulse motor
Computer controlled operation
Speed: Maximum 51 mm/s
Wafer transfer robot method:
(2) Cassettes random access method
Wafer detection inside cassette: Arm type robot
Vacuum chucking method
Orientation flat / V Notch detection: Non-contact automatic detection method
Control and display system:
Observation control CRT:
EWS (GUI) LCD Monitor
Integral processing image display
Interactive computer operation
Wafer map display
Measured value indication
Stage coordinate indication
Scan mode:
TV Scan
Raster rotation
Auto brightness / Contrast control
Image processing:
Photographic recording unit
Effective visual field 80 x 80 mm
Safety device: Mushroom type EMO switch
Measurement data processing system:
File storing function:
3.5" Floppy disk drive
3.5" Magneto optic disk drive
With storage
Recording media:
Hard disk with EWS
3.5" Magnetic optical disk
3.5" Floppy disk
Print output: 80 Digit thermal printer
Evacuation system:
Method: Automatic dry cleaning evacuation system
Vacuum pumps:
(3) Ion pumps
(2) Turbo molecular pumps
(2) Oil rotary pumps
Safety devices:
Power fail / Vacuum level safety devices
1997 vintage.
HITACHI S-8840は、高度で高解像度のアプリケーション向けに設計された走査型電子顕微鏡（SEM）です。HITACHI S8840では、ミクロンからサブミクロンまでの材料やデバイスのナノ構造を研究することができます。高出力低電圧電子ビームは、40nmの分解能と20倍から500,000xの倍率で導体、絶縁体、半導体の詳細な画像を生成することができます。S 8840は、高品質のイメージングと分析を可能にする高度な技術を備えています。この顕微鏡は、低エンタルピー、非破壊電子ビームと高度な信号処理システムを利用しており、画像の歪みを大幅に低減します。強力な信号プロセッサは、正確な信号出力と詳細な3D画像を提供しながら、明確な信号対ノイズ比を提供します。S8840は、高品質のビデオ画像を取得するためのCCDカメラや超高感度フィールド放射検出器を含むプローブ検出器の選択も提供しています。この低電流検出器は、最大100万電子/秒のダイナミックレンジを提供し、電子ビーム条件の微妙な変化を検出することができます。この顕微鏡には、材料科学と半導体の両方の用途に適した真空10⁻⁶barを維持することができる真空チャンバーも装備されています。HITACHI S 8840は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェースとフルセットのソフトウェアツール、さまざまなオプションやアクセサリーを備えており、さまざまな要求の厳しいアプリケーションに適しています。この顕微鏡は、元素分析および材料の元素組成の研究のためのエネルギー分散X線分光法（EDS）およびエネルギー濾過イメージング（EFI）をサポートしています。SEMは、結晶構造や材料の質感を観察するためにも使用することができ、マイクロデバイスの構造や特性をより良く評価することができます。さらに、LBIC （Laser Beam Induced Luminescence）システムS-8840提供しており、サンプルの目視検査、コントラスト強化、自動解析が可能です。SEMには、試料調製用の高精度プラズマエッチングシステム、試料を加熱するためのガス入口、試料の操作や位置決めを支援するサポートアームも装備しています。HITACHI S-8840は、高解像度画像や貴重なデータ解析を可能にする高度な走査型電子顕微鏡です。幅広い研究目的に適した信頼性の高い高性能機器です。
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