中古 HITACHI S-8820 #9189515 を販売中
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販売された
ID: 9189515
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"
V Notch and flat edge type
Cassette: (2) Ports
Robot & pri-aligner: MECS UTC-100, OF-250
Gun tip type: Denka 174DH (Exchanged new)
Image resolution: 5 nm (800V)
Accelerating voltage: 500V to 1300V (10V Step)
Electron optic system: Retarding methode
Measure repeatablity:
(3) Sigma: 1% / 5 nano
CD Measurement range: 0.1~10 micro
Throughput: 25" Wafer/Hour, (5) points
Magnification:
OM Mode: 100x
SEM Mode: 300x ~ 200, 000x
EWS:
HP B132 / HP B180 With LCD type monitor
Vacuum system:
(3) Ion pumps
(2) Turbo pumps
Stage system: X-Y 200mm Plus motor driving
Dimensions:
Main body: 1,170W x 1,890D x 1,650H mm
Controller: 600W x 1331D x 1800H mm
Power unit: 535W x 600D x 1500H mm
Options:
(2) Rotary pumps
(2) Dry pumps
Does not include Dry pump
1997 vintage.
HITACHI S-8820は、表面の地形や欠陥の解析に最適な高度な走査型電子顕微鏡（SEM）です。この装置は、半導体評価、故障解析、ライフサイエンス研究など、さまざまな用途に使用できます。HITACHI S 8820は、高解像度、高感度、優れた画像安定性を研究者に提供する幅広い機能を提供します。それは優れた解像度で画像を生成することを可能にするフィールド放射源を利用しています。さまざまなコンデンサーのレンズは高められた信号対ノイズの比率を提供し、より大きいイメージの決断を可能にします。この顕微鏡の拡大された検出可能な信号範囲はまたそれに巨大なダイナミックレンジを与え、かすかな信号の観察、またより明るい全面的な信号を提供することを可能にします。また、電子ビーム制御の高度なアルゴリズムと優れた位置決め精度を誇り、安定した再現性のある画像処理性能を実現しています。高速加速電圧範囲を備えており、試料の酸化などの動的現象を観察することができます。大型の試料チャンバーを使用S-8820ことで、大きな試料径に対応でき、より徹底的な分析が可能です。S 8820は優れたデータ分析機能も提供します。減算や画像の追加など、デジタル信号処理を介して制御できる幅広い機能を備えています。さらに、コンピュータ制御のステージとビームスキャンにより、深度プロファイルを簡単に測定することができ、モーター式フォーカスシステムの組み込みをさらに支援します。オートフォーカス機能は、サンプル表面に合わせて設定および調整し、画像と測定結果を最適化することができます。HITACHI S-8820は、全体的に優れた走査型電子顕微鏡であり、サンプルに対する明確で詳細な知見を研究に提供することができます。フィールド放出源、電動フォーカスシステム、強力なデータ解析機能により、正確で高解像度の画像処理性能を実現します。
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