中古 HITACHI S-7800 #61575 を販売中
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販売された
ID: 61575
ウェーハサイズ: 6"-8"
Cold field emission scanning electron microscope, 6"-8"
Resolution: 5nm
SE Detector: Through the lens type
Magnification: 150,000x
Accelerating voltage: 0.5 kV - 15 kV
Measuring range: 0.1mm - 10mm
Measurement repeatability: 15nm at 3 sigma
Stage:
5-axis CPU controlled
X, Y: 0-200mm
Z: 4, 7, 12 mm
T: 0-30°, R: 360°
Stage positioning accuracy: 10 um
Wafer handling: Cassette to cassette
Vacuum system: Rotary, turbo and ion pumps
Evac control: Automatic
Pattern recognition: standard
Measurement: Menu driven
Interface with defect inspection system
EDX.
日立S-7800走査型電子顕微鏡(SEM: HITACHI scanning electron microscope)は、幅広い科学および産業用途に使用される強力な研究機器です。このタイプの電子顕微鏡は、焦点を当てた電子ビームを使用してサンプルを画像化し、肉眼の最大10万倍の倍率を達成します。これにより、研究者は人間の目には見えないサンプルの細かい詳細を観察することができます。S-7800は、サンプル上の小さな特徴の超高解像度イメージングが可能です。最大30kVの高電圧設定を備えており、サンプル上の最小の原子レベルの特徴の詳細な画像を取得することができます。また、HITACHI S-7800は、試料の元素組成を解析するために使用されるエネルギー分散X線分光装置(EDX)を内蔵しています。これは、視覚的に観測可能な機能を超えた貴重なデータを提供します。S-7800は環境チャンバーを装備することができます。これにより、サンプルをさまざまな温度および圧力条件で研究することができます。これにより、揮発性化合物の研究から材料が極限状態にどのように反応するかの研究まで、多くの実験的可能性が開放されます。また、HITACHI S-7800は、二次電子イメージング、スキャンイオンイメージング、波長分散分光など、さまざまなイメージングモードを提供しています。S-7800は、研究者が特定の要件に応じて顕微鏡を簡単に操作および最適化できるソフトウェアパッケージを備えています。これには、ビームの最大解像度の制御、イメージングパラメータの設定、デジタル画像の記録などが含まれます。要するに、HITACHI S-7800は、幅広い用途に適した強力で汎用性の高い走査型電子顕微鏡です。高倍率機能とEDXユニットの組み合わせにより、原子レベルの物質構造と組成の研究に最適です。また、様々な環境条件でサンプルを収容することができ、物理学者、化学者、材料科学者にとって貴重なツールとなっています。
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