中古 HITACHI S-530 #9038452 を販売中

製造業者
HITACHI
モデル
S-530
ID: 9038452
Scanning electron microscopes (SEM) Microspec WDX-2A.
HITACHI S-530は、日立製作所が開発した、幅広い科学・産業用途向けの先進走査型電子顕微鏡(SEM)です。このSEMには、スポットサイズ5。2nm、作動距離6。5mmの高解像度コールドフィールド放射チップが装備されています。これにより、研究者や産業技術者はサンプルをサブナノメートル分解能で分析することができます。HITACHI S 530は、表面解析、3Dイメージング、ナノ構造、回路解析など、さまざまなスキャンアプリケーションに使用できます。S-530は球面収差を低減し、画質を最適化する球面収差補正(CsCsC)を搭載しています。これにより、SEMの解像度と画像のコントラストが向上します。S 530は、二次電子(SE-)および二次イオン(SI-)検出を使用して、二次電子、イオン、Coincident Imaging®モードを検出してSE-およびSI検出画像とエネルギーフィルタImaging™を相関させ、1つの解析で複数の要素を検出します。HITACHI S-530は、最大加速電圧30kVの1。3 × 10-4 Torr、 12kVの高電圧電源、ガスクロマトグラフ真空装置、環境・真空コントローラ、傾斜ステージを備えた高真空室を有しています。このSEMには、SEとSIの両方の情報の検出器システム、ならびに後方散乱電子イメージングおよびオーガー電子イメージングも含まれています。操作面では、耐腐食性チャンバーコーティング、自動サンプルチェンジャーユニット、低ノイズ電子ビーム、広範囲のプリスキャンとスキャン設定、高度なビデオクロッピング、および自動明るさ/コントラスト調整を備えています。また、19インチのモニターを搭載したカラーディスプレイ、または分割画面機能を備えたオプションのマルチアイディスプレイも含まれています。S-530には、回路解析やデバイス性能評価用の日立SMART Scoreソフトウェアマシンなど、さまざまなソフトウェア機能があります。このソフトウェアは、生のSEMデータを解析して分析し、半導体テストチップと保存されたライブラリ参照を比較するように設計されています。S 530は、SE Analysis EXscanやQuantum Autotracking Autoscannerなど、さまざまな解析ソフトウェアパッケージとも互換性があります。結論として、日立S-530走査型電子顕微鏡は、サンプル分析のためのサブナノメートル分解能をユーザーに提供する高度なSEMです。CsCsCs補正器、ガスクロマトグラフ真空ツール、カラーディスプレイ、ソフトウェア機能など、表面解析から回路解析までの用途に最適です。
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