中古 HITACHI S-5200 #9410826 を販売中
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日立S-5200走査型電子顕微鏡（SEM）は、世界中の研究室で長年使用されてきた強力な分析ツールです。材料の濡れ特性の測定から集積回路の欠陥の特性評価まで、幅広い用途に使用されます。HITACHI S 5200は1967年に発売されたHITACHI S-2の改良型です。強力な5kV電子源、広い視野顕微鏡、高解像度イメージング装置、オートスティグシステムなど、幅広い機能と機能を備えています。S-5200の5kV電子源は最大2µAのビーム電流を生成することができ、広い視野では3cm2までのサンプルモザイク全体のイメージングが可能です。S 5200の高解像度イメージングユニットは、1-2nmの解像度とダイナミックコントラストおよび形状認識機能、ならびにバックスキャッタ電子（BSE）イメージングおよびスキャンオーガー顕微鏡（SAM）を備えています。オートスティグマシンにより、拡大画像やスティグマを自動解析することができ、オブジェクト間の距離を測定することができます。HITACHI S-5200は、表面の特性評価からナノスケールのプロセスや欠陥のモニタリングまで、さまざまな作業に適しています。1〜10nm以下の順番で粒子を検出・検査したり、極薄膜の測定に使用できます。HITACHI S 5200は、X線光電子分光法（XPS）とオーガー電子分光法（AES）を用いた表面化学解析を行う装置です。さらに、S-5200の電子エネルギー損失分光計（EELS）は、物質サンプルの深度プロファイルを可能にします。S 5200は、高信頼性で精密な走査型電子顕微鏡で、幅広い研究用途にご利用いただけます。ナノスケール範囲の特徴を検出し、表面化学分析を行うだけでなく、極めて薄いフィルムや深さプロファイル材料を測定することができます。HITACHI S-5200は、強力で正確な分析装置を必要とする科学者やエンジニアにとって理想的な選択肢です。
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