中古 HITACHI S-4800 Type I #9270676 を販売中
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販売された
ID: 9270676
Scanning Electron Microscopes (SEM)
With EDS 7593-H
Resolution: 137 eV
Detection area: 10 mm²
Magnification: x30, x800,000
Maximum sample size: 150 mm
Accelerating voltage:
1.0 nm: 15 kV
2.0 nm: 1 kV
Electron gun:
Cold-cathode field emissions electron source
Accelerating voltage: 0.5 to 30 kV
Sample change: Air lock
Detectors:
Upper secondary electron detector
Lower secondary electron detector
Pumps:
Oil pump
Turbo Molecular Pump (TMP)
3-Axes motorized stage
Operating system: Windows XP.
HITACHI S-4800 Type Iは、デュアル顕微鏡を搭載した走査型電子顕微鏡(SEM)で、標準およびインレンズ(低電圧)イメージングが可能です。このシステムは高度に構成されており、高度なウェハステージ、多種多様な検出器、カラムの角度と傾き、および豊富な検出器が含まれています。S-4800の電子光学系は、強力な汎用性を提供します。デュアル顕微鏡を使用して、さまざまな倍率と加速電圧でサンプルをスキャンすることができ、各顕微鏡には調整可能なステージがあり、異なるサンプルを簡単に検査することができます。ウェハステージにより、試料の傾きや回転をより細かく制御することができます。また、インレンズ検出器により、低電圧での表面特性の可視化が可能です。S-4800には、SE検出器、BSE検出器、SE/BSE検出器、CL検出器などの検出器もあります。SE-detectorは、低エネルギーでのサンプルのイメージングに使用され、BSE-detectorは高エネルギー分布でのサンプルのイメージングに最適です。SE/BSE検出器は、双方向の電子間の微妙なコントラストを検出するために使用されます。CL検出器は元素分析に最適で、サンプルの組成に非常に敏感です。このS-4800には半自動サンプルチャンバーも装備されており、幅広い試験片オプションから選択することができます。チャンバーには、大型試料の検査を可能にするオプションのサイドローディングチャンバーと、特別な試料のための可変圧力サンプルホルダーの選択肢があります。サンプルは、自動ナビゲーションとアライメントのために調整することもでき、ウェーハ段階での位置決めが容易になります。また、S-4800にはマルチタスク画像処理ソフトウェアが搭載されています。このプログラムは、複雑な3D画像を解析し、正確な定量情報を生成しながら、複数のチャンネルでサンプルの特徴を正確に再現するように設計されています。このS-4800は、試験片の検査と分析に便利で使いやすい環境を提供します。結論として、S-4800 Type Iは強力で汎用性の高い走査型電子顕微鏡であり、デュアル顕微鏡の構成と豊富な高度なイメージングおよび分析オプションを備えています。これは、サンプルから精密な情報を抽出しようとする研究者にとって、極めて精密で精度の高い選択です。
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