中古 HITACHI S-3000H #293596949 を販売中
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ID: 293596949
ヴィンテージ: 2001
Scanning Electron Microscope (SEM)
Tungsten gun
SE Detector: High
EDS Type: LN2
BSE Detector
Magnification range: 300.000x
Operating system:
SEM: Windows NT
EDS : Windows XP
2001 vintage.
HITACHI S-3000Hは、ナノメートルレベルの材料の性能向上と超高分解能イメージングを目的とした走査型電子顕微鏡（SEM）です。半導体および高密度回路アプリケーション向けに特別に設計されており、さまざまなサンプルに最適化されたイメージングを提供します。HITACHI S 3000 Hは、インカラム式エネルギーフィルターと二次電子と逆散乱電子イメージングの両方を提供するハイブリッドイメージング装置を備えています。このシステムは、電気、電子、化学、冶金、生物医学の研究など、さまざまな用途に使用できる材料の表面と地下の非常に高解像度の画像をキャプチャすることができます。S-3000Hは、走査型電子カラム、焦点レンズ、インカラム・エネルギーフィルター、検出器の4つの主要コンポーネントで構成されています。このスキャン電子カラムは、アルミニウム化されたサンプルチャンバーを使用し、高角度の入射電子ユニットを備えているため、サンプルの表面を正確にスキャンすることができます。さらに、このマシンは、高速イメージングと非常に安定したビーム形状を可能にする大きな可変視野を備えています。焦点レンズは低収差のために最適化され、色収差と球面収差を低減するように設計されています。これにより、歪みを最小限に抑えた高解像度の画像を作成できます。インカラムのエネルギーフィルタは、サンプルをスキャンするために使用される電子エネルギーを利用します。このエネルギーは、エネルギー分散X線分光解析（EDX）や二次電子イメージングなど、試料表面のさまざまな動作モードを分析するために制御することができます。これらのモードにより、S 3000 Hはさまざまなコンポーネントの組成やサンプルの微細構造を高精度で可視化し、検査することができます。また、試料表面から反射した電子を検出し、高品質な画像を得ることができます。HITACHI S-3000Hには、精度と解像度を高める非常に調整可能な光学ツールも搭載されています。この光学アセットにより、スポットサイズを1000 nmから10 μ m、被写界深度を5 nmから15 μ mに調整できます。さらに、このデバイスは最大0。6の数値開口に到達することができ、ナノメートルレベルでの画像システムの精度をさらに高めることができます。インカラムエネルギーフィルター、調節可能な光学モデル、高度な検出器の組み合わせにより、HITACHI S 3000 Hは、最大1ナノメートルの解像度で画像を生成できる解像度を向上させました。結論として、S-3000H走査型電子顕微鏡は、ナノメートルスケールの材料特性の様々な研究および分析に最適な、非常に高度なイメージングを提供します。カラム内のエネルギーフィルターと調整可能な光学機器は、S 3000 Hに最大1ナノメートルの分解能を提供し、さまざまな用途における表面および地下の特徴の詳細なイメージングおよび分析に最適です。
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