中古 HITACHI RS-4000 #293608920 を販売中

HITACHI RS-4000
製造業者
HITACHI
モデル
RS-4000
ID: 293608920
ウェーハサイズ: 8"
Defect Review Scanning Electron Microscope (DRSEM), 8".
HITACHI RS-4000は、高分解能で広い被写界深度の画像処理と包括的なサンプル解析を可能にする走査型電子顕微鏡(SEM)です。この装置は、3。5 nmの分解能と最大100 μ mの被写界深度を達成することができます。HITACHI RS 4000は、元素解析用のEDX検出器を搭載し、逆散乱電子(BSE)モードでの標本のイメージングも可能です。また、自動化されたステージと、簡単かつ正確な画像取得のためのソフトウェア制御システムが付属しています。RS-4000は、インレンズ型の二次電子(SE)検出器を使用しており、検出効率を向上させ、明るいコントラストイメージングを可能にします。この検出器は1M 電子/01秒まで集めることができます。RS 4000には、5軸ムーブメントと最大160mm正方形のサンプルサイズを提供する自動ステージが装備されています。ステージには、ステージをリアルタイムで正確に制御できるオートメーションソフトウェアパッケージも付属しています。HITACHI RS-4000には、低kV変圧イメージング、エネルギー分散分光法(EDS)、 X線マッピングなど、さまざまな特殊なイメージング技術も含まれています。低kV可変圧力イメージングを使用すると、従来のスライスおよび実装方法を必要とせずに、サンプルの効率的な3Dマップを提供できます。EDSユニットは、4から92までの原子番号を持つ元素の高分解能マッピングを可能にします。X線マッピング装置は、高真空条件を必要とせずに室温でサンプルを素早く調べることができます。HITACHI RS 4000は、サンプルの湿度と圧力を制御するために、試料チャンバーにガスを注入することを可能にするガス注入ツールを含むアクセサリーの範囲が付属しています。このアセットには、高解像度イメージング時に熱保護を提供する冷却モデルも含まれています。さらに、RS-4000は様々な二次電子検出器やコールドカソード検出器で使用することができます。使いやすさを確保するために、RS 4000には包括的なソフトウェアパッケージが含まれています。このパッケージは、自動イメージングおよび解析機能、CAD図面ツール、およびシンプルなユーザーインターフェイスを提供します。最後に、装置は長期的な信頼性のために設計されており、長期的な運用を確保するために定期的なメンテナンスと校正サービスを提供しています。
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