中古 HITACHI CG-5000 #9389318 を販売中
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販売された
ID: 9389318
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2015
Scanning Electron Microscopes (SEM), 12"
(3) Ports
C to C Auto loader
With Load / Lock system
Power cable (ISM): Main<->P
Electrified Sample Correction (SPM)
Auto calibration system by using stub pattern
Multi-Point / Gap / Comer radious measurement function
Image filing function
Recipe queue
TDK FOUP Opener
With RFID
EDWARDS iGX100 Dry pump interface
Signal light tower
Light curtain
X / Y Dual microscale
Energy filter
Ioniser
Edge roughness measurement
Line width roughness analysis function
Flat scan function
Maximum mag: 500K
GEM Communication interface
HSMS Communication interface
GEM 300 / HSMS / SECS
SECS Communication interface
CD Data transfer at CG5000
Measurement image upload function using FTP
FDC Function
Flexible scan function
Self alignment double pattern measurement function
Template generator function
Shield cover
EFEM Modification
VACC Modification:
Lowest: 200V
Highest: 5000V
E-Chuck stage system:
Display unit
Power supply unit:
Water circulator
With power cable
Pipe
Ion pump back-up
SE-Gun back-up
Optical Microscope: l 10x, 220x
Does not include:
Chemical filter
Pre-Dose, Optics modification HARC observation function
KRF Defect review network interface
Power supply: AC 208V, 60Hz
2015 vintage.
HITACHI CG-5000は、日立製作所が開発した走査型電子顕微鏡（SEM）です。HITACHI CG5000モデルは、卓越したデスクトップSEMであり、高度なイメージング機能と使いやすさで有名です。この装置の基本設計には、5軸電動ステージと可変圧力チャンバーを備えた高分解能カラムが含まれています。CG 5000は、真空ゲージ、電子銃、熱放射フィラメント、高出力の可変無色対物レンズ、およびSEMのイメージングパラメータを高精度に制御するトレンド補正駆動システムも備えています。CG-5000の中核となるのが、モーション制御T800画像データ処理を行うデジタル信号処理装置「HITACHI」です。高度なプロセッサと強力な電子銃の組み合わせにより、要求の厳しいサンプル材料でも高品質のイメージングが可能です。HITACHI CG 5000は、高分解能で二次電子（SE）、逆散乱電子（BSE）、カソドルミネッセンス（CL）など、さまざまなイメージングモードを生成することができます。作成された画像は、2次元（2D）または3次元（3D）形式で作成できます。このシステムはまた、より困難なイメージング用途に自動ゲイン制御を提供します。また、磁気レンズや電子光学系により顕微鏡の性能が向上し、高倍率を実現しながらも優れた画質を維持しています。このユニットは、直径50mmまでのサンプルサイズに対応でき、可変圧力チャンバにより、幅広いサンプルに最適な条件を提供できます。イメージング機能に加えて、パーティクルカウントの自動化、エレメントマッピング、EDSスペクトル計算などの高度な解析ツールもCG5000ています。これは、サンプル分析から有用なデータを生成するために必要な時間を大幅に短縮するのに役立ちます。全体として、日立CG-5000は強力で汎用性の高い走査型電子顕微鏡です。高度なハードウェアとソフトウェア、使いやすさ、高解像度の組み合わせにより、さまざまな種類の分析に最適です。
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