中古 FEI FIB 200 #9082663 を販売中
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ID: 9082663
Focused Ion Beam System
Single beam
Pre-lens ion column:
Provides image resolution of 7nm and milling current up to 11nA
Enables deflection (for scanning) before the final lens, bringing the lens closer to the sample for best spot size
50x50mm XY stage, with rotation, tilt and z-motions
Loadlock with separate pump for fast sample exchange
Turbo pump for main chamber
Real time monitor to observe milling, aka Leader oscilloscope
Keithley Pico-ammeter to measure beam current
(2) GIS types to be selected from: EE, IEE, Metal dep (Pt) or TEOS
Chamber camera and monitor
Operating system: Windows NT
Computer control with FEI software and Seiko screen printer
Manual user interface (MUI), joystick and mouse controls
Manuals
(2) gas injectors with controller: choose from iodine, XeF2, Platinum, or TEOS gases
Line transformer (main), AC distribution box and Maintenance tool kit.
FEI FIB 200は、材料分析や材料特性評価などの用途向けに設計された、高度で高解像度の走査型電子顕微鏡（SEM）です。集束イオンビーム（FIB）を使用して、材料の内部構造の高度な拡大、詳細な画像、および原子精度でサンプルを撮影することができます。FIB 200は、高度なエレクトロニクスおよび光学システムにより、ほとんどのSEMよりも高い解像度と高速スキャンを提供します。FEI FIB 200は、極めて高い電流で電子を供給するために場の放出源を利用しています。これらの電子は一連の電磁レンズによって集中され、次にサンプルへの陽極によって加速される。電子が試料と相互作用すると、SEMシステムによって検出され、画像に処理される異なる信号が生成されます。FIB 200には球面収差補正器があり、小さな特徴の高解像度画像を実現できます。このシステムに組み込まれた焦点イオンビームは、サンプル調製の重要な側面です。FIBを使用すると、サンプル材料の面積を取り、さらに分析するために薄い層に切断することができます。この切断プロセスは非常に精密であり、サンプルを原子精度で調製することができます。また、表面原子を除去し、サンプルにプローブや基板を堆積させることも可能です。FEI FIB 200はまた、ユーザーがより高い精度で材料を分析することを可能にする画像解析および測定ツールのスイートを提供します。これには、多次元カラーマッピングや自動フィーチャーテンプレートなどのツールが含まれます。データは、さらなる分析のためにエクスポートすることも、将来の参照のために保存することもできます。全体として、FIB 200はナノスケール材料に関する貴重な情報を提供するためのツールを備えた先進的なSEMです。その比類のない精度と解像度は、その統合されたFIBと相まって、材料分析と特性評価のための理想的な機器になります。
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