中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM #9280532 を販売中
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ID: 9280532
ウェーハサイズ: 8"
Automated CD metrology system, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer cassette: PP Miraial, 12"
No SMIF Interface
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300 V - 2000 V
Prober current: Low 5pA / Medium 10pA / High 20pA
3-Stage Electromagnetic lenses
System with boosting voltage beam deflector module
Objective lens:
Scan coil 2-stages: Electromagnetic deflection (X-axis & Y-axis)
Magnification: 1,000x - 400,000x (100um - 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio: >20:1
Resolution: 2nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 12"
Model SGI Fuel
SECS / GEM Communication interface:
Automated image archiving function / Online setup
Measurement function: Contact hole
Line edge analysis / CH Analysis / Slope
Measurement algorithm normal / Foot / Threshold
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEMは、半導体産業における高度な故障解析とプロセス開発のための優れたイメージング機能と精密制御を提供する走査型電子顕微鏡（SEM）です。この汎用性の高い機器は、高解像度イメージングから分光解析まで、ユーザーに幅広い高度な機能を提供し、安定した信頼性の高いプラットフォームで一貫した正確なイメージング結果を提供します。AMAT VeritySEMは可変圧力SEMシステムで、超高真空および低真空イメージング機能を提供します。低真空モードでは、試料の充電を防止するために不活性ガス下でのフルレンジのイメージングを含む0。1-50 torrからの幅広い圧力での表面イメージングと分析が可能です。このユニットはまた、高速真空バルブ制御技術を備えており、試料チャンバーの迅速かつ信頼性の高いパージとコンディショニングを保証します。この真空技術は、画像モードと条件を正確に制御することと組み合わせることで、画像に困難な標本に対して一貫した正確な画像処理結果を得ることができます。APPLIED MATERIALS VeritySEMは、高度なイメージング機能に加えて、高度な分光機能も提供します。効率的で自動化されたサンプルハンドリングと高い二次電子歩留まりは、分光解析ツールと組み合わせて、個々の部品の優れた解像度とコントラストを実現し、ナノスケールイメージング用の小さなフィーチャーサイズを実現します。VeritySEMは、EDX、 WDX、 SEI分光、CL解析などのさまざまな分析技術をサポートしています。AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEMには、高速で自動化されたサンプル処理と位置決めを提供する統合スポット分析制御モジュールが付属しています。統合画像解析機（IAS）は、高解像度の画像処理と低ノイズとともに、強力なコントラスト制御と測定能力を備えており、他では困難なサンプルの比類のない細かい画像処理を提供します。AMAT VeritySEMは、解析結果の迅速な処理を可能にするように設計されており、自動試験片の位置決め、統合スポット解析、高度に詳細な画像解析、自動化された標準検証などの高度な機能により、幅広いサンプルからの信頼性と高速な結果を保証します。半導体業界における高度な故障解析とプロセス開発のための信頼できるツールであり、非常に競争力のある価格で独自の強力な機能セットを提供します。
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