中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM 2 #9094373 を販売中
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販売された
ID: 9094373
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 12"
Includes:
Thermally assisted field emission electron gun
Patented electron optics (YAP detector included)
SEM Autofocus and auto stigmation module
(3) Open cassette ports, 12"
Standing / Sitting operator console
3D Sidewall imaging
Signal tower
Thermal video and alphanumeric printers
Central recipe database server
Metrology
Lines and CH slope: (2) Angle, (2) Height
Repeatability: L-0.45 nm, CH-0.55 nm (1) 1°/ 1° / 1° 10 nm / 10nm / 17nm
Reproducibility: L-0.45 nm, CH-0.55 nm (1) 1° / 1° / 1° 10 nm / 10nm / 17nm
VeritySEM2: 0.9 nm
Imaging:
Image resolution: 1.65 nm at (4) 800, 0 V
Side wall imaging: (5) 15° Tilt at 4 directions
HAR Imaging: 1:30 Features
(7) ABW: 10.5 nm
Accelerating voltage: 0.2 kV - 2.5 kV
Extraction voltage up to 4 kV
Probe current: 5 pA - 500 pA
System performance:
Throughput: (6) Lines / Spaces slope / Height
5 Sites / Wafer: 65 WPH 13 WPH
20 Sites / Wafer: 33 WPH
PR Success rate: 99.70%
MTBF: 1,000 Hours
MTTR: 4 Hours
MTBA: 24 Hours
Availability: 95%
Wafer particle contamination:
Front 0.09 um particles 25 PWP / Wafer (With mini environment)
Front 0.2 um particles 5 PWP / Wafer (With mini environment)
Back 0.2 um particles 3000 PWP / Wafer (With mini environment)
Equipment parameters:
Wafer size: 6"-12"
Optical magnification 16x, 220x (FOV: 450 mm - 6000 mm)
SEM magnifications: 1,000x to 400,000x (100 mm - 0.25 mm)
Stage: 300 mm/s With continuous motion trackball
Host: 19.4 CBM
FFU: 2.0 CBM
Workstation: 2.5 CBM
UPS, Chiller and electric disk: 2.1 CBM
Does not include dry pump
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM 2は、材料や表面の解析に使用される走査型電子顕微鏡（SEM）です。これにより、ユーザーはナノスケール上のサンプルを観察、特性評価、操作することができます。この強力で汎用性の高い機器は、研究開発のための貴重なツールです。このシステムは、電子銃、サンプルホルダー、電子光学、検出器など、いくつかの基本的なサブシステムで構成されています。電子銃は電子ビームを生成し、試料の表面に集中してスキャンします。サンプルホルダーは、電子ビームのサンプルの位置決めに使用されます。電子光学は、電子をサンプルの表面に集中させるだけでなく、それらの倍率と検出にも責任があります。検出器は、サンプルから散乱している電子を分析するために使用されます。AMAT VeritySEM 2は高精度で汎用性の高い機器で、ユーザーは幅広い分析を行うことができます。APPLIED MATERIALS VERITY SEM 2は、最大50,000倍の倍率を達成することができ、ナノスケールの特徴を研究するための理想的なツールです。「スパッタイオンソース」オプションを使用すると、表面構造化とスパッタエッチングが可能になります。この機能により、ナノスケールのサンプル表面の成膜やフィルム除去、スパッタエッチング、スパッタクリーニング、パターニングなどの操作が可能になります。VERITY SEM 2は、幅広い分析機能も備えています。そのエネルギー分散型X線分光法（EDS）オプションにより、サンプルの元素特性評価が可能になり、エネルギーフィルタイメージングにより、ユーザーはナノスケール分解能で異なる化学的および構造的特徴を正確に画像化することができます。また、後方散乱した電子イメージングを行うことができ、材料の表面特性を目視で確認することができます。結論として、VeritySEM 2は、サンプル表面の材料特性評価と操作の両方に適した強力で汎用性の高い機器です。ナノスケールの特徴を解決する能力、およびその分析能力の広い範囲は、研究開発のための効果的なツールになります。
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