中古 ADE / KLA / TENCOR 8100 #9187693 を販売中
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販売された
ID: 9187693
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 1986
Microscan system, 4"-6"
2 in / 4 out
Alignment station
Flatness station
High res station
ASC Controller
Accessories included
Sender elevators:
One/two senders
Deliver wafers from cassettes to the main transport belt
Prealigner:
Centers wafers on vacuum chuck
Aligns them with reference to primary flat/notch
Determines locations of up to four secondary flats
Flatness station:
Measures operator-specified portion of wafer surface
Calculates minimum, maximum, centerpoint, and average thickness
(MINTHK, MAXTHK, CTRTHK, AVETHK)
Thickness variation (TTV)
Focal plane deviation (FPD)
Total Indicator reading (TIR)
Total Indicator reading at localized areas (SITE TIR)
Percent usable area based on thickness
(THICK PUA), FPD (FPD PUA) and SITE TIR (SITE TIR PUA) sem I conductor type
Resistivity station:
Measures resistivity at one user-programmed point on the wafer surface
Receiver elevators:
One - four receivers
Transport wafers
Main transport belts to cassettes
1986 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 8100は高度なソリッドステートスキャン電子顕微鏡（SSEM）で、さまざまな科学および産業用途における重要なイメージングの利点をユーザーに提供するように設計されています。ADE 8100は、焦点を当てた電子ビームプロービングを使用してサンプルのドリフトと歪みを最小限に抑えて複数の画像を取得するマルチパターンジェネレータなど、独自の技術を備えており、アーティファクトを最小限に抑えた正確なイメージングを可能にします。KLA 8100は、デジタル信号プロセッサとアンプを内蔵した高精度スキャン顕微鏡で構成される統合制御システムによって駆動されます。このシステムは、比類のないイメージング精度とスキャンスループットを可能にします。さらに、精密モーションステージとアクチュエータにより、TENCOR 8100はスキャン動作において高解像度を実現します。イメージング品質を向上させるために、8100はジッタとノイズを低減できる高周波入力と、サンプル精度を高めるための包括的な自動アライメント機能を備えています。動き制御のために、ADE/KLA/TENCOR 8100は滑らかで、精密なスキャンのための高度の速いスキャンのモーターそして全方向制御を特色にします。そのイメージングソフトウェアは、任意の倍率で高水準のイメージング品質を提供するように設計されています。さらに、ADE 8100は自動サンプル特性評価スイートを備えており、物理的、電気的およびその他の材料特性を容易に測定できます。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、研究者はリモートで作業し、インターネットブラウザを介してサンプルデータを閲覧することができます。KLA 8100はまた、3D画像再構築や検出解析などの機能を備えた包括的な分析機会を誇っています。要するに、TENCOR 8100は、厳密なデータ分析とイメージングを処理するために設計された強力なSSEMです。統合された制御システム、モーションステージ、イメージングソフトウェア、自動特性評価スイートにより、さまざまな産業および科学アプリケーションに最適です。
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