中古 PLASMATHERM SEV-2DC #9072382 を販売中

PLASMATHERM SEV-2DC Reactorは、様々な基板に薄膜成膜を可能にするプラズマ成膜/エッチング工具です。この原子炉は、業界で実績のあるパラレルプレート構成を利用しており、広範囲にわたって高品質のフィルムを均一に蒸着することができます。このプラズマ源は、高温で制御性の高いプラズマを基板に供給するリニア誘導結合プラズマ（LICP）発電機です。このプラズマは、アンテナまたはインダクタに高周波信号を適用することによって生成されます。プラズマ源は、さまざまなエッチングおよび沈着化学をサポートすることができます。原子炉室はステンレス鋼で構成され、蒸着プロセス中に真空を維持するために密閉されています。内部冷却は、操作中に均一な基板温度を確保するために、チャンバーの壁の周りに水循環ジャケットによって提供されます。この反応室には、2つの駆動RFマッチングネットワークと1つの駆動RFチューニングネットワークが装備されており、蒸着およびエッチングプロセスに最適なプラズマ条件を保証します。反応室自体に加えて、原子炉には他の多くの主要なコンポーネントが含まれています。真空ポンプ、ロードロック、真空ゲージ、機器コントローラ、ガスパネル、ガス供給システム、温度センサです。真空ポンプは、チャンバーとアテンダントラインを避難させる責任があり、圧力は2つの真空ゲージによって監視されます。ロードロックは、シールドを壊すことなく真空環境から基板を導入・除去するために使用され、ダブルドアエントリーはチャンバー圧力の損失を防ぎます。ユニットコントローラは、アンテナ電源、RFマッチングネットワーク、蒸着ガス圧力、リアクタント注入などのすべてのパラメータのユーザーインターフェイスと制御を提供するデジタルマシンです。ガスパネルは、エッチングおよび蒸着プロセスに適切な反応剤を導入する責任があります。SEV-2DC Reactorは、薄膜成膜およびエッチング処理のための汎用性と強力なツールであり、高度に制御可能な条件下で高品質のフィルムを容易にします。業界で実績のある機能、堅牢なハードウェア、および信頼性の高い制御を組み合わせた原子炉は、さまざまなプロセスで優れた性能を発揮します。