中古品 PLASMATHERM (リアクター) を販売中

PLASMATHERMは、先進的な材料加工のために様々な業界で広く使用されているプラズマ炉の大手メーカーです。同社は、顧客の多様なニーズに応えるために、異なる仕様と能力を持つ原子炉の範囲を提供しています。PLASMATHERM原子炉の利点の1つは、その汎用性です。これらは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、プラズマエッチング、プラズマアッシングなどのさまざまなプロセス技術をサポートするように設計されています。この柔軟性により、半導体製造、高度なパッケージング、MEMS、ナノテクノロジー研究など、幅広いアプリケーションを実行できます。PLASMATHERMの原子炉はまた、優れたプロセス制御機能を備えており、正確で反復可能な結果を保証します。温度制御、ガス流量管理、高度なプラズマ源などの高度な技術を採用し、プロセスパラメータの微調整を可能にしています。PLASMATHERMのフラッグシップモデルであるPD 2411プラズマリアクターは、優れた均一性とプロセス安定性を備えたハイスループットプラズマエッチング用途向けに設計されています。一方、PDS 60リアクターは、プラズマアッシングおよび降下プロセスに最適化されたコンパクトなソリューションであり、高品質の結果を小さなフットプリントで提供します。もう1つの注目すべき製品は、LAPECVD （Low Aspect Ratio Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition）原子炉であり、高アスペクト比の複雑な立体構造上にコンフォーマルフィルムを堆積するのに優れています。この原子炉は、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、高度なパッケージング、ナノ加工などの用途で広く使用されています。全体として、PLASMATHERM原子炉は、高度なプロセス機能、正確な制御、およびアプリケーションの柔軟性を提供し、さまざまな業界で厳しい材料加工ニーズに対応する信頼性の高い選択肢となります。