中古 PLASMATHERM PK-1241 #9135300 を販売中

PLASMATHERM PK-1241は、蒸着用途に特化した高性能プラズマ炉です。この原子炉には、高温容量結合プラズマ源と高速マスフローコントローラが装備されており、正確なプロセス制御が可能です。この原子炉は130°Cまで温度に達することができ、均一、方向、片道の3つの異なるモードでプロセスを実行することができます。高周波、低圧放電により、困難なプロセス材料でも均一で定義されたフィルムを実現できます。この原子炉は、シリコン、窒化物、多結晶などの様々な基板タイプを処理することができます。迅速な成膜が可能で、工程時間が短く、生産効率が向上します。原子炉は、長期的かつ効果的な操作を可能にする自動水冷が装備されています。また、ユーザーフレンドリーなHMI （human-machine interface）を搭載しており、個々のプロセスレシピを便利にプログラムできます。原子炉には、基板を監視し、プロセスパラメータを最適化する温度検出システムが装備されています。また、オプション機能として光放射分光法（OES）も用意されており、プロセスの正確な監視と最適化が可能です。また、エンドオブフィルム（EOF）検出機能も備えており、望ましいフィルムパラメータを達成するとプラズマ放電を自動シャットダウンすることができます。原子炉室は、材料の互換性と耐食性に特に注意を払ってステンレス鋼で構成されています。それは安全な操作を保障するために三相電源によって動力を与えられます。この原子炉はCE/EMC規格に準拠しており、RoHS認定を受けています。さらに、原子炉は、PK-1241LARとPK-1241NARの2つのモデルで利用可能です。PK-1241LARは、760 x 510 mmまでの基板サイズの低アーク、大面積の原子炉です。PK-1241NARは、最大130 x 40 mmの基板サイズの小さいノーマルアーク狭域原子炉です。どちらのモデルも堅牢な設計で、取り付けと操作が簡単で、信頼性と安定したプロセス結果を提供することができます。PK-1241はあらゆる沈殿の適用のための原子炉の優秀な選択です。洗練されたデザイン、高性能、およびユーザーフレンドリーな機能により、さまざまな基板サイズで正確な成膜に最適なツールです。