中古 UNITEMP RTP-1000-150 #293642647 を販売中

UNITEMP RTP-1000-150は、ウェーハの信頼性、再現性、正確な熱処理を提供するように設計された急速なサーマルプロセッサ（RTP）です。RTP-1000-150はシングルウェーハプロセスチャンバーであり、半導体製造時の迅速かつ正確な温度制御を可能にします。UNITEMP RTP-1000-150は、直径4インチのウェーハまでの加工が可能で、0。1°Cの温度精度で動作します。プロセスレシピは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを介して作成され、内部ハードドライブに保存されます。この装置は8点ランプスキャン技術を備えており、すべてのウエハでタイトなプロセス制御と反復可能な結果を得ることができます。チャンバーは内部で最高温度1250°Cまで加熱され、窒素、アルゴン、ヘリウムと互換性があります。RTP-1000-150は、緊急時の封じ込めを確保するために、赤外線安全インターロック機構とチェックバルブを備えた安全のために設計されています。このシステムはまた、ユニット圧力を調整し、チャンバーからの漏れを避けるのに役立つリークブレークバルブを備えています。UNITEMP RTP-1000-150は、チャンバーの圧力と温度を継続的に監視し、事前に定義された限界からの偏差を報告するように設定することができます。RTP-1000-150は、使いやすさを促進するために構築されており、直感的なユーザーインターフェイスと統合された冷却機を備えており、各ウェーハの迅速なクールダウンを保証します。このツールは、信頼性のために設計されています、ステンレス鋼のコンポーネントとモノリシッククォーツチャンバーと。堅く密封されたステンレス鋼の発熱体は均一で、完全な熱プロセスを保障します。UNITEMP RTP-1000-150には、最大限の柔軟性と利便性を保証するように設計された幅広いアクセサリーとオプションが付属しています。ウェーハの自動搬送資産、バーコードリーダー、および外部コントローラへの処理レシピのエクスポートのオプションが含まれます。オプションのエキゾーストコントローラとの互換性もあり、加工中のチャンバの急速なバックフィリングと排気を可能にします。RTP-1000-150は、高精度で再現性のある処理結果を提供する高度な急速なサーマルプロセッサです。UNITEMP RTP-1000-150は、最大1250°Cおよび0。1°Cの温度精度の温度範囲で、柔軟で最適な半導体製造機能を提供します。