中古 ULVAC RTA-6000 #9152945 を販売中

ULVAC RTA-6000
ID: 9152945
Rapid thermal annealing system.
ULVAC RTA-6000は、超高速クォーツ加熱素子を使用して、正確で反復可能で信頼性の高い温度性能を提供することができるハイエンドの急速なサーマルプロセッサです。このデバイスは、化学蒸着、物理蒸着、および急速なサーマルアニーリングなど、幅広いプロセスでの急速な熱処理に最適です。RTA-6000は、高効率ターボ分子ポンプによって制御された強力な真空チャンバーを備えており、汚染を最小限に抑えて非常に高い真空に到達することができます。さらに、真空チャンバーには超短水晶発熱体を使用しており、クイック、精密、再現可能な温度制御が可能です。優れた温度プロファイル性能により、均一な温度勾配を作成するのに最適で、通常の炉ベースのアニーリングプロセスよりもはるかに優れています。さらに、ULVAC RTA-6000は高いレベルのプロセス制御および監視機能を提供します。時間、温度、圧力、真空レベルなどのプロセスパラメータを自動的に監視および最適化するために設定できる高度なコントローラを備えています。これにより、常に非常に狭い範囲で温度を制御できるため、従来のアニーリングプロセスでは達成できなかった精密で再現性のある結果が得られます。RTA-6000には、安全性を向上させ、汚染を低減する機能も含まれています。それは統合された化学蒸着システムが装備されています、それは部屋が汚染物から保たれることを保障します。さらに、強力なターボ分子ポンプにより、非常に迅速なポンプダウンサイクルが可能になり、危険な蒸気への曝露時間を最小限に抑えます。全体的に、ULVAC RTA-6000は、化学蒸着、物理蒸着、急速熱アニーリングなど、幅広い処理アプリケーションに最適です。その正確な温度制御機能と安全機能は、リスクを最小限に抑えて再現可能な熱処理を必要とする人に最適です。
まだレビューはありません