中古 ULVAC RTA-6000 #9055548 を販売中

ULVAC RTA-6000は、幅広いハイスループットの下流処理アプリケーション向けに設計された高速サーマルプロセッサです。高品質な熱処理能力を備え、信頼性と再現性に優れた高精度マイクロエレクトロニクス部品の製造を可能にします。RTA-6000には、温度、時間、圧力を正確に制御するためのさまざまな機能が含まれています。その高周波パルス技術変調は、サンプルの急速な加熱と冷却を可能にし、高い反復可能な熱均一性を維持します。結果は1°Cの熱された地帯内の温度の均等性です。ULVAC RTA-6000はウェーハの急速な熱処理のために設計されている温度制御された熱プロセッサです。これは、さまざまなプロセスや材料に必要な熱環境を作成するために使用するための統合チャンバーとサセプター技術を持っています。この装置は、厳しい温度制御と一貫して再現可能な結果を保証するために、加熱ゾーン温度測定システムを内蔵しています。連続流量ガス燃焼ユニットは、1100°Cまでの温度で一貫した安定した加熱環境を可能にします。このマシンには、さまざまなプロセス制御システムと、リアルタイムのデータ取得や分析などの監視機能が含まれています。RTA-6000は抵抗、拡散、酸化、窒化、アニーリング、および他の多くのようなプロダクト変数を監視するのに使用することができます。さらに、このツールの統合プロセス制御システムは、データロギングと広範なレポート機能を提供します。さらに、統合されたプロセス制御アセットは、プロセスの再現性と再現性を確保するために、高効率と低温ドリフトプロセス制御システムを備えています。このモデルは、遠隔操作と監視のためのアクセシビリティも備えています。機器には、通信と制御のための内蔵のイーサネットまたはRS232インターフェースを装着できます。これにより、ユーザーは自分のオフィスや自宅の快適さからプロセスを監視しながら、遠隔地からシステムを制御する柔軟性を提供します。ULVAC RTA-6000急速な熱プロセッサは高精度の機械および電気部品の大量生産のための優秀な選択です。その高度なプロセス制御技術と幅広い機能により、迅速で信頼性が高く、再現性の高い熱処理を実現し、一貫した最終製品品質を実現します。