中古 ULVAC RTA-0208S #9107274 を販売中

ULVAC RTA-0208Sは、ユーザーが1つの蒸着プロセスでさまざまな種類のウェーハ材料を処理できるように設計された急速なサーマルプロセッサ（RTP）装置です。このシステムは、窒素とハロゲンガスを組み合わせて、均一な熱分布と高精度温度制御を備えた急速な熱処理（RTP）を実現します。8インチの大容量RTA-0208S、さまざまなサイズのウェーハを素早く処理できます。このRTPユニットには、20〜1100°Cのチャンバー温度と、均一な処理温度を保証する3点の温度傾斜補償ユニットが装備されています。ULVAC RTA-0208Sの主な特徴の1つは、高温機能です。1000°C以上のピーク温度に達することができるため、急速熱焼入れ（RTA）や急速熱反応（RTR）などの激しいプロセスに適しています。このRTPユニットはまた、ウエハが過熱し、繊細な要素を損傷するのを防ぐのに役立ちます液体窒素冷却機を提供しています。さらに、回転可能なガス入口ツールは、ウェーハ上にガスを均等に分配するのに役立ち、水晶液体窒素シールは窒素がチャンバーに逃げないようにするのに役立ちます。RTA-0208Sにはマルチステッププログラミングプラットフォームも含まれており、ユーザーは複数のヒートアップ、ホールド、クールダウンステップを作成および管理できます。このプログラミング機能により、ウェーハの様々な蒸着特性に応じて熱処理を最適化することができます。さらに、直感的なタッチパネルディスプレイと、ステップバイステップの操作ガイダンスを提供するリアルタイムデータ表示モデルを搭載しています。最後に、ULVAC RTA-0208Sには、蒸着プロセス中のウェーハ特性の変動を監視するインライン光放射分光計（OES）が含まれています。この機能により、プロセスが最適な精度と安全性で行われていることを保証します。さらに、OESモニターを使用して、酸素や水素濃度などのさまざまなパラメータを監視することができます。これにより、ウェーハの温度と組成が所望の範囲内に維持されるようになります。全体として、RTA-0208Sは多くの便利な機能を備えた印象的な急速なサーマルプロセッサです。高温機能、液体窒素冷却装置、マルチステッププログラミング機能により、さまざまなウェーハ処理アプリケーションに適しています。さらに、リアルタイムデータ表示とインラインOESモニタリングシステムにより、熱処理プロセスの精度と安全性を確保することができます。