中古 ULVAC RTA-0208 #9107343 を販売中

ULVAC RTA-0208 Rapid Thermal Processor（アルバック・ラピッド・サーマル・プロセッサ）は、半導体加工および試験アプリケーションで使用される先進的なデバイスです。それは基質の広い範囲の操作のために設計され、1200°C。までの温度にそれらを熱することができます。最大10ポイントの温度を同時に測定できるフルオートの高速プロセッサで、温度、圧力、大気などのパラメータを制御することができます。RTA-0208には、赤外線ランプと高出力の可変周波数ランプの2つのフルフィールドエネルギー源が装備されています。加熱された領域に幅広いエネルギーを供給することができ、高精度な温度・圧力測定が可能です。ULVAC RTA-0208には、PIDコントローラ、独立したオーブン熱制御、温度監視用の内蔵ピロメーターなど、特定のアプリケーションのパラメータを最適化するための高度なコントローラも多数用意されています。RTA-0208には堅牢な水冷構造があり、ハードウェアの故障なしで高温に対応できます。また、すべてのプロセスを継続的に監視し、任意のパラメータが許容限度を超えている場合は、ユニットをシャットダウンするインテリジェントな安全システムが装備されています。このデバイスは、直径2「から8」までのさまざまなウエハサイズをサポートすることができ、効率的で正確な熱処理を可能にします。アルバックRTA-0208は、半導体業界で強力なツールとなる数々の先進的な機能を提供しています。その中には、精度と再現性の高い結果を持つ急速な熱基板への機能が含まれています。高度な温度および圧力制御により、高度なサーマルプロファイリングが可能になり、エンジニアは特定のアプリケーションのプロセスを最適化できます。さらに、デバイスの強力なランプは、各アプリケーションの特定のニーズに合わせたさまざまなエネルギーレベルを提供できます。このデバイスの内蔵安全機能、堅牢な構造、直感的な制御により、業界をリードするサーマルプロセッサとなります。