中古 ULVAC RIKO RTA-4000 #9412583 を販売中

ULVAC RIKO RTA-4000
ID: 9412583
ウェーハサイズ: 6"
Rapid thermal annealing system, 6".
ULVAC RIKO RTA-4000は、高性能ノズル設計、急速なサーマルサイクル処理、比類のない温度制御を備えた高速サーマルプロセッサ(RTP)で、最も信頼性が高く効率的なRTPの1つです。このRTPは、1500°Cまで加熱し、わずか数秒で-170°Cまで冷却することができ、さまざまな材料を幅広く処理することができます。RTA-4000は、特許取得済みのマルチゾーン設計と強化ノズルを使用して、均一性とプロセス効率を向上させます。個々の発熱体は、一定の熱を維持しながら、温度変化に迅速に対応することができます。このRTPは高度な制御オプションも提供しており、ユーザーは正確な処理ニーズに合わせて設定をカスタマイズできます。さらに、PID (Proportional Integral Derivative)制御装置は、所望の温度と均一性を正確に維持します。ULVAC RIKO RTA-4000は、真空システムとEMC/ESD保護ユニットを内蔵した耐久性と堅牢性に優れた設計で、安全性と信頼性を確保しています。このRTPは、4ゾーンの石英電気ヒーターを備えており、広範囲の温度とランピングレートで熱サイクルを実行することができます。また、プロセス中の負荷を監視するための熱負荷センサー、およびチャンバーの出入りを容易にするための2つのクォーツファイバードアを備えています。また、TCP/IPプロトコルを組み込んだ優れたリモートモニタリング機能も搭載しており、ユーザーは遠隔地からマシンを制御したり、ローカルLAN経由で監視したりすることができます。RTA-4000にはフロントパネルに7 インチLCDディスプレイがあり、ユーザーは現在の設定を確認してプロセスを監視することができます。全体的に、ULVAC RIKO RTA-4000は、急速な熱処理に最適なソリューションです。直感的な設計、直感的な制御オプション、高度な温度制御により、ユーザーはプロセスが正確、迅速、確実に実行されることを安心できます。
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