中古 ULVAC / RIKO MILA-5000 #9113552 を販売中
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ID: 9113552
ヴィンテージ: 2008
Rapid Thermal Processing (RTP) system
Desktop infrared furnace
RTP Oven
Micro processor controlled tube
Box furnaces
Sample holder
Mini lamp annealer
Water flow safety switch set
Atmosphere:
Air
Vacuum
Gas flow
Temperature: ~1200°C
Power supply: 200 V, 4 kW
2008 vintage.
ULVAC MILA-5000はサンプル処理のための基板を急速に熱し、冷却するのに使用される急速な熱プロセッサ(RTP)です。MILA-5000は1000°Cの最高温度に加熱し、室温(<1ms)までわずか1秒で冷却することができます。これは、強力な石英管の誘導加熱技術によるものです。また、温度変動を最小限に抑えた高温安定性を備えています。ULVAC MILA-5000は、幅広い用途に対応する基板の正確で一貫した加熱と冷却を保証するために設計された汎用性の高いプロセッサです。サンプルクリーニング、アルミリフロー、急速サーマルアニーリング、および急速なランピング温度に最適なツールで、特定の熱処理をシミュレートします。また、蒸着、酸化、エッチング用途にも使用できます。MILA-5000は便利なLCDのタッチスクリーンの表示および容易な操作およびセットアップのための直観的なグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。その組み込みソフトウェアは、堆積制御と最適化のための専用のテストプログラムを含む、様々なアプリケーションのためのスマートな熱レシピを提供しています。このユニットには、温度制御を最適化し、振動を低減するための絶縁ファンが内蔵されています。これは、優れた予測可能な熱処理性能のために設計された先進的なデバイスです。ULVAC MILA-5000は耐久ステンレス鋼および絶縁された水晶管と堅牢に構築され、信頼性と湿式化学の互換性を確保します。また、統合されたプログラム可能なHMWP(高性能モーター巻線プラットフォーム)だけでなく、フィルム&ワイヤーデポジションコントロールのための補助入力と出力も備えています。全体として、MILA-5000は最先端の熱処理の制御のための理想的な急速な熱プロセッサです。その先進的な設計と直感的なユーザーインターフェイスと急速な加熱と冷却機能により、幅広いアプリケーションに理想的なツールとなります。それは優秀なサンプル処理の性能を保証する最低の温度の変動を正確で、信頼できる温度のプロフィールに与えることができます。
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