中古 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9210339 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LPは、半導体デバイス製造のニーズに応えるために設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。高いプロセス再現性と優れたプロセス制御機能を備えているため、さまざまな生産環境のお客様にとって効果的なソリューションとなります。TEL SRTF200-LPは、ダイレクト駆動の高出力LEDランプを搭載したLEDランプ型RTPです。LEDランプは広い動作波長範囲と高い均一性を提供し、低温でもウェーハの熱処理を高速化することができます。ランプの優れた光学特性は、処理時間の厳密な制御も可能であり、可能な限り最高の精度を保証します。WAFERMASTERS SRTF200-LPには、温度の均一性を最適化し、迅速な加熱および冷却時間を実現するために、ペルティエ素子ベースの冷却装置が装備されています。この冷却システムは、ウェーハ全体の温度プロファイルの均一性を最大化し、均一で反復可能な結果をもたらします。SRTF200-LPにはSIEC-ONタッチスクリーンインターフェイスも付属しており、ユニットのセットアップと操作が簡単です。東京電子SRTF200-LPには、ウエハ表面に様々な材料を堆積させることができるプラズマ強化化学蒸着（PECVD）装置が内蔵されています。このツールは、標準的なCVDプロセスよりも高い均一性と高い沈着率を提供します。さらに、コンパクトヘリックス赤外線源（CHIRS）アセットは、標準的な狭線赤外線源よりも高い蒸着温度を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LPには、現場でのウェーハ測定モデルも含まれており、プロセスの安定性を正確に評価できます。この測定装置には、光分光法、X線スキャン解析、走査型電子顕微鏡など、さまざまな分析機能が搭載されています。これらの機能に加えて、TEL SRTF200-LPでは、プロセスの状態監視やデータロギングなどの機械制御オプションも提供しています。このRTPには、さまざまな安全機能が搭載されており、安全な動作を保証します。WAFERMASTERS SRTF200-LPは、最大の性能を維持するために、製品寿命とプロセス時間の影響に基づいて温度プロファイルを自動的に調整するプロセス監視システムを内蔵しています。全体として、SRTF200-LPは信頼性の高い性能と優れたプロセス制御を提供する優れた急速熱処理装置です。効率的なLEDランプ、優れた温度均一性、簡単なユニット設定、および組み込みのPECVDおよびCHIRSシステムにより、さまざまな生産環境のお客様に最適です。